NanoX-2000/3000系列、3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

  產品優勢

美國硅谷研發的核心技術和系統軟件

  關鍵硬件采用美國、德國、日本等

  PI納米移動平臺及控制系統

  Nikon干涉物鏡

  NI信號控制板和Labview64 控制軟件

  TMC光學隔振臺

  測量準確度重復性達到shijie*水平(中國計量科學研究院證書)

輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量參數

產品參數：

n  測量模式        移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

n  樣 品 臺        150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）

                    XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

                    可選手動/電動樣品臺

n  CCD相機像素    標配：1280×960

n  視場范圍        560×750um（10×物鏡）

                    具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機

n  光學系統        同軸照明無限遠干涉成像系統

n  光    源        高效LED

n  Z方向聚焦      80mm手動聚焦（可選電動聚焦）

       n  Z方向掃描范圍  精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達10mm )

n  縱向分辨率      ＜0.1nm

n  RMS重復性*     0.005nm，1σ

n  臺階測量**              準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ

n  橫向分辨率              ≥0.35um（100倍物鏡）

n  檢測速度                   ≤ 35um/sec , 與所選的CCD和掃描模式有關

輪廓儀——表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度測量應用