泰勒霍普森粗糙度輪廓儀 I 系列是一系列高精度的表面粗糙度和輪廓測量儀器,以下將從其功能特點、技術參數、應用領域等方面進行詳細介紹:
功能特點
同時測量表面粗糙度和輪廓:能夠在一次測量中同時獲取表面粗糙度和輪廓信息,提高測量效率和準確性,避免了傳統方法中分別測量帶來的誤差和不便。
高精度測量:采用低噪音軸和高分辨率傳感器,確保了測量的完整性和高精度。準技術能夠實現半徑、角度、高度、長度、距離等的精確測量。
多種測量模式:配備了如 Talymap 等軟件,可將傳統的 2D 測量轉換為 3D 分析工具,提供更全面的表面形貌信息。還具備雙輪廓分析功能,可用于分析兩個連續輪廓,展示儀器重復性和測量完整性。
溫度補償功能:作為標準配置,能夠監控和反饋環境溫度的變化,確保在不同環境條件下,測量的穩定性和完整性不受影響,提高了測量結果的可靠性。
操作簡便:擁有簡單直觀的用戶界面,配合 Metrology 4.0 軟件,具有虛擬顯示和實時控制功能,操作方便快捷。此外,Quick Start Technology(QST)有助于提高測量速度和設置時間,減少操作人員的培訓時間和工作周期。
技術參數
垂直量程和分辨率:有 1mm、2mm 和 5mm 等多種垂直量程的傳感器可供選擇,其中 1mm 量程的傳感器分辨率可達 1nm,5mm 量程的傳感器分辨率為 5nm,可滿足不同精度要求的測量任務。
水平行程:提供 200mm 的水平行程,也有標準的 120mm 水平行程可選,能夠測量較大尺寸的工件,在電感系統內屬于較大的測量容積范圍。
水平直線度誤差:水平直線度誤差為 0.50μm/120mm,可通過選擇基準校正進一步提高精度,以滿足更高精度要求的應用。
數據采樣間隔:水平數據采樣間隔為 0.125μm,小的采樣間隔使得小工件的測量更加有效,同時減少了測量時的啟動長度和停止長度,提高了儀器對不同尺寸工件的適用性。
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