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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備> CVD化學氣相沉積裝置

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CVD化學氣相沉積裝置

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 湘潭市三星儀器有限公司
  • 品牌 三元
  • 型號
  • 產地 高新區東方金谷工業園
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/4/28 15:11:36
  • 訪問次數 3892

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 湘潭市三星儀器有限公司下轄湘潭米塔電爐有限公司、湘潭市三星陶瓷設備廠、湘潭市儀表采購供應站。主要生產產品有:


  實驗電爐:箱式電阻爐、管式電阻爐、坩堝電阻爐、真空成型全纖維快速升溫電阻爐、熔塊爐、管式氣氛爐、旋轉管式氣氛爐、熱壓燒結爐、氣壓燒結爐、梯度電阻爐、真空電爐、反應燒結爐、聚四氟旋轉燒結爐、平板加熱器、電熱干燥箱、溫度控制器(柜);

  陶瓷設備:研磨機、振篩機、制樣機、可塑儀、真空練泥機、真空攪拌機、真空干燥箱、化學成份快速分析儀、高溫膨脹儀、高溫物性儀、荷重軟化溫度測定儀、電動數顯抗折儀、吸水率儀、綜合度儀、釉面耐磨儀、磨擦系數測定儀、熱穩儀、致密度儀、坯料抗折儀、切片機、磨片機、拋光機。


  湘潭市三星儀器有限公司緊盯科技發展前沿,致力于實驗設備的研究和開發,依靠技術和實干,不斷向社會提供精益求精的產品,以贏得用戶青睞。產品多次獲湖南省優秀新產品獎、科學技術進步獎。公司先后與湘潭大學、湖南大學、中科院、北京科技大學、中南大學等成功合作,引進技術和人才,不斷提升企業技術開發創新能力。目前公司自有現代化的廠房和專業生產設備,年生產能力500臺套以上,同時是湘潭市科技計劃項目的承擔單位。


  三星人進取、務實,專注于三星提供的每一款產品,用心制作,心系服務的每一環節,努力使您滿意。








實驗電爐,節能電爐,真空電爐,特種電爐,陶瓷儀器,理化檢測儀器,粉碎研磨試樣設備,化學分析儀器

    CVD化學氣相沉積裝置由升華室、反應室、氣路系統、和真空系統組成,采用智能化程序控溫系統,可控硅控制,控溫精度高;內置多個溫區,可以營造不同的溫度梯度。用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

1、升華室主要包括有不銹鋼容器,不銹鋼高溫閥、壓力表、電熱合金絲發熱體、質子流量計、熱電偶、溫控裝置和保溫系統。主要用于對前驅體的加熱升華和調控通入反應室的氣體流量, 控溫溫度可以在100-700℃之間自由設定,由K分度號熱電偶+精密數顯程序控溫儀實現升華室溫度的自動程序升降,控溫精度:±1℃,升華室配置數量為2個。

2、反應室主要包括不銹鋼容器、壓力表、質子流量計、電熱合金絲發熱體、熱電偶、溫控系統、真空系統、保溫系統、載物臺??販販囟瓤梢栽?00-900℃之間自由設定,由K分度號熱電偶+精密數顯程序控溫儀實現反應室溫度的自動程序升降,控溫精度:±1℃,反應室配置數量為1個。

3、氣路系統采用∮6×1mm,316L材質不銹鋼管實現氣體的運輸、氣體流量的精確控制、減壓閥的準確快速切換以及廢氣的處理。在氣體運輸過程中,需要對管道進行加熱保溫處理,防止混合氣體在運輸過程中發生冷凝,加熱系統由K分度號熱電偶+智能數顯控溫儀+電熱合金絲發熱體實現氣路管道的溫度控制,控溫精度:±1℃。

4、真空系統主要用于控制反應室內壓強,保證化學氣相沉積反應能在預定的壓強下進行實驗,真空度:10Pa。

 

CVD化學氣相沉積

化學氣相沉積反應裝置

CVD管式爐

 

 



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