尼康高分辨率白光干涉儀BW-500系列

尼康BW系列白光干涉儀

在2017年被日本光學協會授予光設計特別大獎，獲獎原因是其在白光干涉的分辨率有飛躍性的提高，控制噪音達到很高的水平，之前難以測量的超平滑表面的性能特征，實現了定量測定。

可實現的亞納米表面輪廓非接觸式測量。

尼康的掃描式光學干涉測量技術實現了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多種光學顯微鏡作為測量系統，以適應廣泛的測量應用。

測量精度&重復性

尼康BW系列產品具有很高的高度解析能力和重復測量精度，美國VLSI公司生產的8.9nm臺階是世界上目前被認證的小高度標準樣，其擴展不確定度為0.6nm，而尼康BW白光干涉儀經過十次測量結果全部在擴展不確定度范圍內，且標準偏差為0.03nm。

測定穩定性

白光干涉儀光源的中心波長是隨著時間不斷變化的，尼康的BW系列白光干涉儀，由于算法與波長無關，測定的結果在任何時間點都可以保證*性，保證了用戶測量結果具備很高的重復性和再現性。

高度測量*性

與傳統的利用光學景深進行三維重構的超景深顯微鏡和將景深減小更精細還原三維表面的共聚焦相比，BW系列白光干涉儀每個倍率下高度分辨率都是1pm，可以實現每個倍率測量結果的高度統一，而共聚焦或者超景深在低倍的鏡頭測量，由于其分辨率的下降，導致測量精度變差。而且尼康BW白光干涉儀分辨率遠高于共聚焦倍物鏡。

參考下圖SiC晶圓上的特征高度，采用不同倍率的尼康物鏡測量結果是高度*的。（低倍測量結果的偏差是由于像素點大而特征點邊界小導致）

應用：碳化硅晶圓劃痕檢測

在高度拋光的碳化硅晶圓上由于細小劃痕引起的粗糙度偏大，之前采用原子力顯微鏡檢測可以看到劃痕，

而采用尼康BW-D系列高速機型使用100倍物鏡掃描25張圖像只需要1分鐘，不但可以看到劃痕，而且可以測定劃痕深度及其對表面粗糙度評定的影響。

應用：碳化硅晶圓粗糙度測量

超光滑表面粗糙度測量，可以測量面粗糙度小于0.1nm表面。

尼康高分辨率白光干涉儀BW-500系列

應用：光學平晶

應用：滾珠

通過澤尼克多項式擬合測量滾珠的外型尺寸和粗糙度。

應用：玻璃基底鉻鍍層

應用：石墨烯

石墨烯的結構是亞納米級，石墨烯的 “片層”和“褶皺”結構高度都是亞納米級，傳統的三維圖像都是采用原子力顯微鏡進行解析，尼康BW可以提供更快速更大視野的高縱向分辨力的圖像解析。

應用：金剛石薄膜

這類材料表面呈現各個不同的角度，圖像獲取難度大，而尼康BW白光干涉系統可以輕松獲取表面真實三維信息，得到很不錯的結果。

應用：圖像傳感器

微型圖像傳感器，傳感器凸起部分只有幾十納米，對于共聚焦100倍物鏡來說解析已經比較吃力，尼康BW可以呈現非常高對比度的高度圖像，無論圖像畫質還是測量準確度，都更勝*。

應用：陶瓷基片

陶瓷基片因為表面情況復雜，傳統白光干涉儀測量點缺失嚴重，尼康BW具有更好的算法處理，配合尼康優異的光學系統，