JGP-800型磁控濺射鍍膜設備
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2019/5/23 17:52:46
- 訪問次數 525
產品標簽
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產地類別 | 國產 |
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設備用途
該產品可廣泛應用于半導體、LED和光伏等行業,主要用于各種金屬、半導體及介質材料的薄膜制備,可滿足科研兼小批量生產需要。
設備組成
JGP-800型磁控濺射鍍膜設備該系統為單腔室結構,主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉基片臺、光加熱系統、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統、安裝機臺、真空測量、水冷卻及報警系統和控制系統等組成。
JGP-800型磁控濺射鍍膜設備系統由工控機和PLC實現控制,有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外,其它操作過程全部在觸摸屏上實現;提供真空系統、濺射工藝設置、充放氣系統等人機操作界面;在工控機上可通過配方設置參數,實現對程序工藝過程和設備參數的設置。