三維云紋干涉儀是由云紋干涉光路和泰曼/格林干涉光路組合而成；將高靈敏度正交型光柵復(fù)制在試件的表面，并置于光路系統(tǒng)中，經(jīng)調(diào)試后可分別獲得兩個(gè)面內(nèi)位移場(chǎng)（U和V）和離面位移場(chǎng)（W）；激光是由單模光纖及耦合器分解和傳輸?shù)焦饴废到y(tǒng)中的；光路中置有PZT壓電晶體，通過驅(qū)動(dòng)電源控制和驅(qū)動(dòng)壓電晶體和反射鏡來實(shí)現(xiàn)相移技術(shù)，相移技術(shù)可以使測(cè)量靈敏度提高一個(gè)量級(jí)，儀器還附有加載系統(tǒng)及調(diào)節(jié)座；配以高溫爐可進(jìn)行熱變形測(cè)量。

三維云紋干涉儀主要技術(shù)指標(biāo)：

1、位移靈敏度：  面內(nèi)u & v 場(chǎng)： 417nm (1200 線/mm)，

                             離面 w場(chǎng)： 266nm (l/2)

2、相移靈敏度:   ∽20nm/V

3、光場(chǎng)尺寸：    35×35mm

4、測(cè)試范圍：    ≤20×20mm

5、條紋分辨率：  優(yōu)于1/20級(jí)條紋

6、測(cè)量應(yīng)變范圍：10me~5%e

7、激光器：      單縱膜，20 mw， λ=532nm 

8、圖像采集：    CMOS攝像頭，分辨率 1280 x 1024，USB接口

9、加載系統(tǒng)：    拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式

主要配置：

1、  主機(jī)

2、  20mW半導(dǎo)體激光器：1個(gè)

3、  TS-1000USB攝像頭（內(nèi)置）：1只

4、  相移器：1個(gè)

5、  光纖：3根

6、  光纖耦合器：1套

7、  1200mm×800mm自動(dòng)平衡隔振平臺(tái)：1套

8、  品牌液晶臺(tái)式電腦：1套(雙核處理器;2GB內(nèi)存;320GB硬盤;19寸寬屏液晶顯示屏)

9、  拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式：1套

10、軟件：1套

其他附件：

1、高溫恒溫箱

簡介：為配合高溫（≤300^oC ）條件下的熱變形的非接觸光學(xué)測(cè)量，高溫恒溫箱配有可供觀察和測(cè)量的石英玻璃窗口。為不影響光學(xué)測(cè)量的精度，該玻璃是精密加工的。恒溫箱的溫度的穩(wěn)定性由控制器控制。恒溫箱固定在五維調(diào)節(jié)座上，可實(shí)現(xiàn)滿足光路要求的精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。

 溫度：≤300^oC, 靈敏度：±1^oC

窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高溫石英玻璃

2、全息云紋光柵                 

簡介:用全息干涉系統(tǒng)和光刻技術(shù)值成的云紋光柵主要用于云紋干涉法變形測(cè)量。該光柵可以方便地轉(zhuǎn)移到試件的表面，將復(fù)制有試件柵的試件置于云紋干涉光路系統(tǒng)中可以獲得反映位移場(chǎng)的云紋干涉條紋。該光柵通常為正交型光柵，以獲得二維面內(nèi)位移場(chǎng)。全息干涉光路中采用了旋轉(zhuǎn)光源，因而有效地消除了散斑噪聲，提高了衍射效率。圖H-1所示為光柵在白光下的衍射彩色圖像；圖H-2所示為光柵在云紋干涉光路中的零場(chǎng)條紋圖。

性能和參數(shù)：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

性能和參數(shù)：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

正交性：        π/2±0.5x10^-4

衍射效率：      大于入射光強(qiáng)的10%

光柵面積：      50×50mm( 2×2in)

基底尺寸：      63×63mm(2.5×2.5in)      

基底材料：      普通玻璃或超低膨脹率石英玻璃 (ULE)

零場(chǎng)：          ≤1級(jí)條紋

光柵材料：      光刻膠鍍鋁膜