微透鏡加工技術與三維形貌測量分析
一、微透鏡主流加工技術
1、光刻與刻蝕法
通過光刻工藝將透鏡圖案轉移至襯底材料,憑借亞微米級加工精度,適用于大規模微透鏡陣列的批量制造。
2、模壓成型法
先加工高精度模具,再通過注塑或熱壓成型工藝,實現微透鏡陣列的高效復制,具備工藝穩定性強的特點。
3、雙光子聚合技術
利用飛秒激光在光敏材料中逐層固化,直接構建三維微透鏡結構,可實現納米級精度的復雜形貌加工。
4、熱回流法
通過光刻膠曝光顯影形成柱狀陣列結構,加熱至材料玻璃態轉變溫度以上使其軟化,借助表面張力作用收縮成微透鏡陣列。
二、Sensofar 微透鏡三維形貌測量方案及優勢
Sensofar 在微透鏡表面形貌測量領域展現出技術*先性,其核心方案基于共聚焦、白光干涉與 AI 多焦面疊加技術的融合,實現了對微透鏡三維形貌的高精度表征。具體優勢包括:
1、融合干涉技術:結合傳統白光干涉與融合干涉成像技術,可獲取高分辨率的表面形貌圖像,有效提升測量精度與穩定性。
傳統白光干涉

融合干涉成像技術
2、自動化分析能力:
SensoPRO 軟件:搭載可擴展的插件式數據分析算法,支持靈活的自動化分析流程,為微透鏡加工質量控制提供量化數據支撐(如曲率半徑、表面粗糙度等參數)。

SensoSCAN 軟件:集成自動化測量模塊,通過標準化流程縮短測量周期,實現快速、精準的數據采集,滿足工業級生產中的高效檢測需求。

Sensofar 的技術組合兼顧了測量精度(納米級)與檢測效率,可全面適配微透鏡行業對復雜結構形貌的高精度表征需求,助力提升加工工藝的可控性與成品率。
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