μ Phase高精度干涉儀用于測量高精度要求的光學零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，被國家*，以及各大天文、光電研究所應用于精密光學檢測，測量精度及穩定性已得到研究機構的廣泛肯定。

應用范圍：

可用于測量平面和球面光學零件

可完成各種類型的反射和透射檢測

可采用透射法檢測雙膠合透鏡

曲率半徑測量

非球面、柱面、輪胎面等面型的測量

大型平面的檢測

光學材料的均勻性檢測

理想的成盤拋光分塊鏡面型檢測

典型應用

μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down

• 用于測量不同的平面和球面光學零件
• 操作直觀而簡單，適合非專業人士操作
• 測量范圍：

μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm

μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm

μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm—225mm，直徑zui大55mm

球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm

• 結構緊湊，占用空間下，可靈活的與產線結合

μPhase® Vertical

• 適用于廠房、車間、實驗室的標準干涉儀檢測系統
• 立式檢測，結構緊湊，占地面積小
• 標配一個沿Z軸方向電動平移的平臺，可選配第二個平臺
• 傾斜及X/Y平移精調
• 可完成各種類型的反射與透射檢測
• 可采用透射法檢測雙膠合透鏡
• 凹面與凸面球面鏡的檢測范圍：標準曲率半徑范圍：1mm-225mm，直徑zui大55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50）
• 集成半徑測量單元
• 可選CGH，用于測量非球面、柱面、輪胎面等
• Z軸方向設置導軌電機，電動升降
• 曲率半徑實現一鍵式自動測量

μPhase® UNIVERSAL 100

• 用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統
• 球面測量范圍：凹面曲率半徑zui大-3000mm（提供相應導軌）
• 平面測量范圍：zui大98mm
• 半徑測量系統集成導軌和光柵尺
• 適合長焦光學零件和系統的檢測
• 與市場上通用的4英寸標準球面物鏡相兼容
• 可選旋轉對稱非球面的檢測配件，檢測范圍10mm-80mm，CGH檢測輪胎面、柱面等

μPhase® Plano 300

• 理想的大型平面的檢測系統，光學材料的均勻性檢測系統
• 理想的成盤拋光分塊鏡面形檢測系統
• 測量范圍60-300mm
• 立式檢測系統，其它檢測方式根據要求可訂制
• 具有重型光學元件的支承、調整等操作功能。

技術規格：