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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>JetLight 快速退火爐

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JetLight 快速退火爐

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工業和實驗室設備供應集團:

  邁可諾公司全稱邁可諾技術有限公司,英文簡稱MYCRO。這是一家富有創新精神的化高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,公司網址為http://www.mycro.com.cn

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基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序,每套程序可以支持高達100個步驟的設定,帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件,與微軟Windows操作系統兼容。通過該軟件,通過鏈接電腦可以非常方便地實現程序編輯以及數據記錄。
Semco的退火爐主要包含如下三款型號:
1)JetLight
基片從前面載入/取出;
腔體尺寸:直徑50mm×深度150mm;
zui高溫度高達1100攝氏度;
升溫速率為150K/sec;
降溫速率分段控制:從1100℃到400℃,降溫速率優于200K/sec。
從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;
2)JetFirst
基片從前面載入/取出;
zui大可支持的尺寸:直徑200mm基片;
zui高溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為75K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;
3)JetStar
也可以用于污染物處理;
基片從上面載入/取出;
zui大可支持的尺寸:直徑為300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片;
zui高溫度高達1000攝氏度;
升溫速率為40K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;

 

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