德國diener等離子表面處理設(shè)備特點：

1、等離子清洗機效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣

2、對清洗樣品沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

3、等離子清洗過程中升溫小，基本可達到常溫處理

4、射頻功率無極連續(xù)可調(diào)

5、高校的特質(zhì)電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證

6、特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空腔體內(nèi)部空間，使處理效率zui大化，同時也可得到全面有效的清洗

7、*的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全

8、設(shè)備整體模塊化設(shè)計，安裝與維護極為簡單

Diener等離子清洗機 Zepto 參數(shù)配置：

主要技術(shù)參數(shù)：
1. *半自動控制
2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強、氣體流量與時間等參數(shù)
3. 雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量計控制
4. 反應(yīng)艙為高硼硅玻璃，Φ 211 mm、長 300 mm，容積10.5L
5. 高周波電流頻率40KHz,功率0~200W
6. 反射波自動調(diào)節(jié)，無須手工調(diào)節(jié)
7. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
8. 運行模式為手動
9. *時間控制計時器
10. 真空泵的排氣能力為3.0m3/Hour，Pfeiffer
11. *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
12. 外尺寸：寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
13. 電源電壓：單相AC230V 16A

配置清單：
數(shù)量
備注
主機    ATTO    一臺   Diener
真空泵          一臺    pfeiffer

選配：
1、 真空腔體，石英材質(zhì)，圓柱形，直徑：211mm，長300mm（可代替參數(shù)4）
2、 真空泵排氣能力為5.0m3/h，Pfeiffer(可代替參數(shù)10)