德國diener等離子表面處理設備特點：

1、等離子清洗機效果好，效率高，應用范圍廣

2、對清洗樣品沒有任何材質、外觀尺寸等要求

3、等離子清洗過程中升溫小，基本可達到常溫處理

4、射頻功率無極連續可調

5、高校的特質電極，是產生均勻等離子體的保證

6、特制電極和托盤結構，可充分利用真空腔體內部空間，使處理效率zui大化，同時也可得到全面有效的清洗

7、*的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩定和安全

8、設備整體模塊化設計，安裝與維護極為簡單

Diener等離子清洗機 Zepto 參數配置：

主要技術參數：

1. 手動控制
2. *根據工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量與時間等參數
3. 雙路工作氣體，浮球氣體流量計
4. 反應艙為高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容積為2.6L
5. 高周波電流頻率13.56MHz,功率0~50W
6. 電極材質為鋁/不銹鋼
7. 運行模式為手動
8. 真空泵的排氣能力為1.6m3/Hour，配有強制進氣閥
9. 外尺寸：W425*D450*H185mm
10. 電源電壓：單相AC230V 16A

配置清單：

選配：

1. 雙路工作氣體（MFC控制）（代替參數3）
2. 石英玻璃艙體(代替參數4)
3. 真空泵，排量為3.0m3/h(代替參數11)

Pirani pressure sensor 皮拉尼傳感器