1

項 目

主要技術指標

數據

2

規格型號

NBD-HR1200X-110IT

3

溫度控制

zui高溫度點

1200℃

4

額定溫度

1100℃

5

穩定狀態溫度范圍

100～1000℃

6

溫度測量精度

±0.2℃

7

溫度控制重復性

±1℃

8

溫度控制精確度

±1℃

9

溫場均勻性

±2℃

10

溫度狀態工藝時間（S）

2～100（100～1000℃）

11

zui快升溫速率

500℃/S

12

降溫速率（℃/S）

1～200（通氮氣，速率更快）

13

溫度控制模式

智能模糊全閉環控制

14

軟件功能

操控系統

NBD-101智能系統

15

用戶界面

中英文互換

16

工藝菜單編輯

觸屏式圖像操作界面

17

擴充端口

可擴充真空測控和FFC供氣

18

看門狗

系統進入死循環時關閉主控制器

19

熱電偶校準狀態檢測

軟件校準，方便準確，軟件分析傳感器狀態是否正常

20

超高溫狀態檢測

軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時，切斷主回路

21

觸摸屏尺寸

7"LCD

22

物理指標

zui大功率

15kw

23

額定電壓

AC380～400V，50Hz（60Hz定制）

24

傳感器類型

S型單鉑銠

25

反應腔室內徑尺寸

Φ100X380mm

26

式樣有效空間

3.5"

27

真空度

4.3×10-3Pa(外配分子泵）

28

抽氣端口尺寸

KF16（或Φ8mm寶塔嘴）

29

供氣口尺寸

Φ6.35mm雙卡套

30

冷卻方式

自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

31

外形凈尺寸（mm）

長920×深520×高480

32

重量

凈重65kg