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Microsense(aKLACompany)設計制造高精度的電容式位移傳感器(分辨率低至1nm)。傳感器包含有無源和有源,可根據客戶的需求選用。不同帶寬的設計可以滿足客戶對于高速采樣的要求。
電容式位移傳感器
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