HMI(Hermes Microvision)是一家專注于電子束檢測工具的公司,主要為半導體制造廠提供服務。該公司在2016年被荷蘭光刻設備制造商ASML收購,交易金額約為27.5億美元。此次收購使ASML進入了新的市場領域,包括晶圓檢查和掩模檢測。HMI成立于美國硅谷,由陳仲瑋博士創立,專注于研發和生產全自動、超高速低能掃描電子顯微鏡系統,用于檢測世jie先進半導體晶圓。其產品線包括eScan系列、ePTM系列和eXplore系列,適用于各種研發和生產應用。例如,HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是一款具有多種功能的高速、準確可靠的自動掩模和晶片檢測設備。此外,HMI還推出了e-beam pattern fidelity metrology系統(ePfm5),這是其與ASML合作的結果,并于2017年開始發貨。這種系統的推出進一步增強了ASML在整體光刻產品組合中的競爭力??傮w而言,HMI作為一家領xian的電子束檢測工具供應商,在被ASML收購后,繼續發揮其在半導體行業中的重要作用,并通過與ASML的合作進一步擴展其技術和服務范圍。
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