潔凈室檢測之潔凈度檢測

 一、潔凈室潔凈度說明   

    潔凈度檢測是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環境測試。  

 二、潔凈室潔凈度檢測儀器    

潔凈度檢測使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格，常見的是流量 1cfm ，小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。于應使用何種設備，要依業主的規范而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。 Class 1000 或更高： 0.5μm       Class 100 ： 0.3μm ，0.5um     Class 1 到 Class 10 ：0.1μm    若是業主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數器的范圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。     

 三、潔凈室潔凈度檢測步驟：   

  (1) 確定空調系統之測試調整與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。  

  (2) 確認測試位置與測試點數。   

  (3) 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。

  (4) 測試位置應均勻分布在無塵室內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。

  (5) 測量點數以公式計算（與 209E 相同）。

 四、潔凈室潔凈度檢測驗收標準：     

潔凈度的驗收基準有二，先是每點的微粒測量平均值必須低于規定值。潔凈度的第二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規定值。    

五、潔凈室檢測之風速及平衡性測試    

一、測試目的  

    氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。

二、  單*向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單*向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量。    

三、使用儀器  

    潔凈室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、式風速計。也可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內使用。式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。 檢量及平衡性測試。 產生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應注意氣流順暢并且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。