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高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

來源:北京北信科遠儀器有限責(zé)任公司   2016年05月09日 09:13  

高溫四探針電阻率測試系統(tǒng) 四探針雙電測定儀 雙電測數(shù)字式四探針測試儀

型號:BXA62

BXA62高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

一、概述:

采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

二、適用行業(yè):

廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊

電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率

和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

三、功能介紹

液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。

該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

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