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日本ULVAC CFB-1200復合分子泵技術資料

來源:上海民儀電子有限公司   2016年01月04日 14:26  

日本ULVAC CFB-1200復合分子泵 一、產品簡介

        復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應用范圍,廣泛應用于光伏、照明、航天航空、半導體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個領域。

 

 日本ULVAC CFB-1200復合分子泵 二、產品特點

        復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

 日本ULVAC CFB-1200復合分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1200

訂貨號

3153

3154

進氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

啟動時間

min

<5

振動值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

8-15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<600

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~34

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復合分子泵安裝尺寸表

 

型號規格

CFB-1200

進氣口法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

393

393

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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