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日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵技術資料

來源:上海民儀電子有限公司   2016年01月04日 14:26  

日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 一、產品簡介

        CFB-K系列抗沖擊分子泵轉子采用國家新型加工而成,提高了葉齒強度,分子泵高速旋轉時可以抵抗瞬時5000Pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 二、產品特點

        具有高壓強、抽速大的特點,對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1600K

訂貨號

3183

3184

進氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

21000

啟動時間

min

<6

軸承

陶瓷軸承

前極泵

L/s

15

振動值

μm

≤0.15

冷卻水溫度

≤25

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

泵口耐壓

Pa

7000

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~35

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

CFB系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表

型號規格

CFB-1600K

進氣口法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

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