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精密露點儀能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴（或冰晶）的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露（霜）點溫度。
精密露點儀（濕度儀器）測量的方法可謂五花八門，其性能與價格也相差懸殊，這就要求我們選用儀器時要謹慎小心，不但要考慮到性能和價格，還應該考慮到儀器使用的場合和所測氣體的種類及腐蝕性等。總體原則如下：
1）*濕度基準：考慮到要求測量準確度高，樣氣理想，一般應選用冷鏡式露點儀。
2）企業基準或實驗室分析：如果測量準確度要求較高，可選用冷鏡法儀器。
3）現場檢測：如果測量準確度要求較高，可選用冷鏡法儀器（同上）；如果要求測量速度快或氣體污染較重，。
連續在線監測：如果精度要求不太高，可選用阻容法儀器，它們共同具有價格低且安裝調試方便的特點；如果精度要求較高。
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