擴散泵報警什么原因:
檢查擴散泵上的循環水還有嗎~或者是擴散泵循環水上的傳感壞了.
擴散泵常出現的故障:
1:極限真空變低,原因:
a.系統中有滲漏;
b.系統太臟;
c.泵油污染;
d.加熱功率不夠;
e.冷卻水不足;
f.過量或過冷的冷卻水;
g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
h.快冷管內有水。
2: 抽氣較慢,原因:
a.加熱功率低;
b.油量不足;
c.噴帽安裝位置不當或受損。
3:進口壓力波動,原因:
a.加熱器輸入功率不當;
b.油脫氣;
c.擴散泵進口前面系統有滲漏。
4:工作腔污染大,原因:
a.前級壓力高;
b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
c.系統操作有誤。
5:返油率過大,原因:
a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
b. 加熱功率不對;
擴散泵報警什么原因:
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