真空干燥，又名解析干燥，是一種將物料置于負壓條件下，并適當通過加熱達到負壓狀態下的沸點或者通過降溫使得物料凝固后通過溶點來干燥物料的干燥方式。

一、通過沸點干燥
干燥過程中，液體水分汽化有軸蒸發和沸騰兩種方式。水在沸騰時的汽化速度比在蒸發時的汽化速度快得多，水分蒸發變成蒸汽可以在任何溫度下進行。水分沸騰變成蒸汽，只能在特定溫度下進行，但是當降低壓強的時候，水的沸點也降低。例如，在19 .6kPa氣壓下，水的沸點即可降到60°C。真空干燥機就是在真空狀態下，提供熱源，通過熱傳導、熱輻射等傳熱方式供給物料中水分足夠的熱量，使蒸發和沸騰同時進行，加快汽化速度。同時，抽真空又快速抽出汽化的蒸汽，并在物料周圍形成負壓狀態，物料的內外層之間及表面與周圍介質之間形成較大的濕度梯度，加快了汽化速度，達到快速干燥的目的。
真空干燥過程受供熱方式、加熱溫度、真空度、冷卻劑溫度、物料的種類和初始溫度及所受壓緊力大小等因素的影響，通常供熱有熱傳導、熱輻射和兩者結合三種方式。

二、通過融點干燥（又稱之為冷凍干燥）
干燥過程中首先將將濕物料（或溶液）在較低溫度下（-10—-50℃）凍結成固態，然后在高度真空（130～0.1Pa）下，將其中固態水分直接升華為氣態而除去的干燥過程，也稱升華干燥。
實現這種真空干燥的必要條件是干燥過程的壓力應低于操作溫度下冰的飽和蒸汽壓。常控制在相應溫度下冰的飽和蒸氣壓的1/2—1/4。如一40℃時干燥，操作壓力應為2.7～6.7Pa。
濕物料也可以不預凍，而是利用高度真空時水分汽化吸熱而將物料自行凍結。這種凍結能量消耗小，但對液體物料易產生泡沫或飛濺現象而遭致損失，同時也不易獲得多孔性的均勻干燥物。
一般情況下，熱量由加熱介質通過干燥室的間壁供給，因此，既要供給濕物料的熱量以保證一定的干燥速率,又要避免冰的溶化。
干燥過程中升華溫度一般為-35—-5℃，其抽出的水分可在冷凝器上冷凍聚集或直接為真空泵排出。若升華時需要的熱量直接由所干燥的物料供給,這種情況下，物料溫度降低很快,以致于冰的蒸汽壓很低而使升華速率降低。