真空度測試儀真空度測試方法
真空度測試常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法。
破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空,通過壓力(真空度)傳感器探測獲取真空度,該測試方法在一定程度上會受到管路中空氣的影響,可以用于真空度的粗略抽查,在小頂空容器中表現尤為明顯。典型的應用是用于粗略的進行密閉容器完整性測試(CCIT)評估,方法是將高真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留樣半年到1年,然后觀察瓶內真空度。如果里面還有一定真空度,即里面的壓力是微負壓,說明瓶子是不漏的;相反,如果里面的壓力是常壓,說明瓶子是漏的。
如果是用于工藝的優化和標準的制定,通常會采用無損的真空度測試方法。無損的真空度測試方法常見的是激光法(即調頻光譜法(FMS)),它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會在一定波段下有激光吸收,并且會得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質的含量成正比,其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬(波峰和波谷之間的橫向距離)和頂空總壓力成正比。因此,采用激光法能夠對容器進行無損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar,因此能測試出接近真實的真空度。
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