APM-HB03HBH-GY
韓國邁克彼恩Mecapion ,其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年,于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion,是韓國zui大的自動化設備及機械裝置方面的核心部件即旋轉編碼器、伺服系統等產品的開發研制、生產、銷售和售后服務的優良企業,并獲得了ISO9001質量體系認證。開發完成半導體設備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠,顯影及清洗工程
實現率瞬間加速特性-100.000rps以上
可根據客戶的要求,定做各種SPinner電機
按照客戶的要求提供多種中空軸
采用磁性流體密封,強化耐環境性
表面進行特殊涂布處理,強化耐腐蝕性
應用范圍:
1,半導體制造工業
2,設備應用
A.曝光顯影設備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層,曝光,顯影。
B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻,清洗,去膜設備。
C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。
技術含量
設備條件
高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸
加/減速時間冷卻系統(水冷系統)
低噪音和振動zui低公差
中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制
采用重疊設計是尺寸zui小化
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。