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半導體設(shè)備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

來源:合肥辰越自動化工程有限公司   2014年09月23日 17:04  

半導體設(shè)備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

韓國邁克彼恩Mecapion ,其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年,于20073月份正式更名為邁克彼恩Mecapion,是韓國zui大的自動化設(shè)備及機械裝置方面的核心部件即旋轉(zhuǎn)編碼器、伺服系統(tǒng)等產(chǎn)品的開發(fā)研制、生產(chǎn)、銷售和售后服務(wù)的優(yōu)良企業(yè),并獲得了ISO9001質(zhì)量體系認證。產(chǎn)品已廣泛應用于冶金、電機、電梯、輕工機械、噴繪、紡織、半導體等行業(yè),在韓國電機驅(qū)動和運動控制行業(yè)處于。其中伺服控制技術(shù),在整合了歐系和日系伺服系統(tǒng)的各自優(yōu)點的基礎(chǔ)上不斷進行創(chuàng)新和開發(fā),使得伺服產(chǎn)品日益完善。 

邁克彼恩Mecapion 擁有伺服電機、編碼器以及伺服驅(qū)動器等核心技術(shù)的自主開發(fā)能力,優(yōu)良的開發(fā)技術(shù)加上的制造工藝使得邁克彼恩Mecapion 的產(chǎn)品有很好的性價比,能夠滿足不同行業(yè)用戶的應用要求。

伺服產(chǎn)品功率從30W37KW范圍廣,電機法蘭大小從40220,編碼器反饋可以選擇增量型和值型,電機軸輸出形式多樣供用戶選擇。的性能和選擇的多樣性,使得邁克彼恩Mecapion 伺服產(chǎn)品可以充分滿足各種行業(yè)的需要,得到了越來越多的用戶的認可和支持。同時供貨期短,服務(wù)專業(yè)細致,也成為了邁克彼恩Mecapion 產(chǎn)品在市場中強有力的核心競爭力。

 

開發(fā)完成半導體設(shè)備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠,顯影及清洗工程

實現(xiàn)率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據(jù)客戶的要求,定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封,強化耐環(huán)境性

表面進行特殊涂布處理,強化耐腐蝕性

應用范圍:

  1,半導體制造工業(yè)

  2,設(shè)備應用

  A.曝光顯影設(shè)備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層,曝光,顯影。

  B.清洗、蝕刻設(shè)備用于蝕刻,清洗,去膜設(shè)備。

  C.清洗設(shè)備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

  技術(shù)含量

  設(shè)備條件

  高轉(zhuǎn)速(5000rpm~8000rpm)真空軸

  加/減速時間冷卻系統(tǒng)(水冷系統(tǒng))

  低噪音和振動zui低公差

  中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

  采用重疊設(shè)計是尺寸zui小化

LS中空軸APM-HB03HBH-SV圖片

半導體設(shè)備韓國LS中空軸APM-HB03HBH-SV

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