ICP炬管是由三支同心石英管組成的，也都有三個進氣管，分別進三股氣流：冷卻氣、輔助氣及載氣。冷卻氣又稱為等離子氣。載氣又稱為進樣氣或霧化氣，它把試液霧化并把氣溶膠送入ICP光源。理想的ICP炬管應該易點燃，節省工作氣體及炬焰穩定。通用的ICP炬管不足之處是耗氣量大，如果降低冷卻氣流量又容易燒毀炬管。只有保持高頻輸入功率和等離子體消耗能量之間平衡，ICP炬焰才能穩定。等離子體輸入功率一般為1000W左右。等離子氣一般為750L/h。

石英炬管清洗

炬管的*清潔方式，是采用酸浸泡處理。無機炬管可用20—40% 硝酸浸泡。有機炬管用熱皂液水或用有機溶劑（煤油）浸泡。注意在炬管放入酸前，要將炬管上的氣管取下，防止氣管腐蝕。

安裝炬管

安裝氣路管子a.松開炬管加緊螺母；b.插入垂直炬管，中管口距射頻線圈下沿約3-5mm；c.鎖死炬管加緊螺母。