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ICP霧化器主要有氣動霧化器和超聲霧化器兩種
氣動霧化器溶液的提升，一般利用文丘里效應(yīng)在進液毛細(xì)管未端形成負(fù)壓自動提升，溶液的提升受載氣的流量、壓力及溶液的粘度和密度的影響，采用蠕動泵來提升，可減小溶液物理性質(zhì)的影響及選擇合適提升量，有利于與等離子體系統(tǒng)相匹配。氣動霧化器的霧化效率較低，一般為3-5%左右，試樣溶液大部分以廢液流掉。
氣動霧化器有兩種基本的結(jié)構(gòu)：同心型霧化器和正交型霧化器。采用固定式結(jié)構(gòu)，具有不用調(diào)節(jié)、霧化效率較高、記憶效應(yīng)小、霧化穩(wěn)定性好、耐酸（HF除外）等優(yōu)點，相對同心型霧化器而言，它比較牢靠、耐鹽性能較好，但霧化效率稍差
超聲霧化器是用超聲波振動的空化作用把溶液霧化成氣溶膠。記憶效應(yīng)較大，與氣動霧化器相比，穩(wěn)定性還有待進一步提高。
ICP霧化器常見霧化器堵塞、出現(xiàn)顆粒物、出現(xiàn)有機物質(zhì)、毛細(xì)管中出現(xiàn)顆粒物等情況我們該如何處理？
如果出現(xiàn)顆粒物的話建議從zui柔和的方法開始，然后慢慢的加強。
沖洗霧化器時首先導(dǎo)入沖洗試劑，加上加壓氣體到側(cè)臂排除液體、諸如更多的溶液，zui后用異丙純沖洗重復(fù)處理直到*，然后干燥。
出現(xiàn)有機物質(zhì)，就要將霧化器噴嘴浸入到鉻酸和硫酸熱的清洗溶液中。
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