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能量色散X熒光光譜采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測量。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導體探測器，如Si（Li）和高純鍺探測器等。能量色散X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數(shù)器或閃爍計數(shù)器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導體探測器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。
非色散譜儀不是采用將不同能量的譜線分辨開來，而是通過選擇激發(fā)、選擇濾波和選擇探測等方法使測量分析線而排除其他能量譜線的干擾，因此一般只適用于測量一些簡單和組成基本固定的樣品。
編輯本段
全反射X熒光光譜儀
同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。
當α1<α臨界時，界面就象鏡子一樣將入射線全部反射回介質(zhì)1中，這就是全反射現(xiàn)象。如果n1>n2，則介質(zhì)1相對于介質(zhì)2為光密介質(zhì)，介質(zhì)2相對于介質(zhì)1為光疏介質(zhì)。對于X射線，一般固體與空氣相比都是光疏介質(zhì)。所以，如果介質(zhì)1是空氣，那么α1>α2（圖2.20右圖），即折射線會偏向界面。如果α1足夠小，并使α2=0，此時的掠射角α1稱為臨界角α臨界。
分析的元素范圍廣，從4Be到92U均可測定；
X射線熒光光譜法有如下特點：
熒光X射線譜線簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡便；
分析樣品不被破壞，分析快速，準確，便于自動化。
析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級，輕元素稍差；
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