成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄 中国色 片,一级黄 色蝶 片,一级黄色 片生活片

產品推薦:氣相|液相|光譜|質譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養箱


化工儀器網>技術中心>行業標準>正文

歡迎聯系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

等離子清洗機原理

來源:北京科譽興業科技發展有限公司   2012年12月27日 16:06  

 

等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成。是物質的第四態。
  通常情況下,人們普遍認為的物質有三態:固態、液態、氣態。區分這三種狀態是靠物質中所含能量的多少。氣態是物質的三個狀態中高的能量狀態
  給氣態物質更多的能量,比如加熱,將會形成等離子體。當到達等離子狀態時,氣態分子裂變成了許許多多的高度活躍的粒子。這些裂變不是*的,一旦用于形成等離子體的能量消失,各類粒子重新結合,形成原來的氣體分子。
  等離子體技術在本世紀六十年代起就開始應用于化學合成、薄膜制備、表面處理和精細化工等領域,在大規模或超大規模集成電路工藝干法化、低溫化方面,在近年來也開發應用了等離子體聚合、等離子體蝕刻、等離子體灰化及等離子體陽極氧化等全干法工藝技術。等離子清洗技術也是工藝干法化的進步成果之一。
  與濕法清洗不同,等離子清洗的機理是依靠處于等離子態的物質的活化作用達到去除物體表面污漬的目的。從目前各類清洗方法來看,可能等離子體清洗也是所有清洗方法中為*的剝離式的清洗。
  干法工藝與濕法清洗的主要區別如下:
等離子清洗
工藝過程容易控制
一次清洗,基本沒有殘留物
濕法化學清洗
時間和化學溶劑對工藝靈敏
可能需要進一步取出一處理或需要清洗
反映副產物為氣體,在通過真空系統及中和器后可直接排放大氣中
大量的廢棄物需要進一步處理
反映所需氣體大多為無毒
大多數溶劑和酸有相當的毒性

  就反應機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:
a.無機氣體被激發到等離子態。
b.氣相物質被吸附在固體表面。
c.被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子。
d.產物分子解析形成氣相。
e.反應殘余物脫離表面。
  氣體被激發到等離子態有多種方式,如激光、微波、電暈放電、熱電離、弧光放電等多種方式,在電子清洗中,主要是低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機氣體(Ar2N2H2O2等)在高頻低壓下被激發,產生含有離子、激發態分子,自由基等多種活性粒子,一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩類,一類為惰性氣體的等離子體Ar2N2 ;另一類為反應性氣體的等離子體O2H2 。這些活性粒子能與表面材料發生反應,其反應過程如下:
電子--氣體分子--激發----激發態分子--------清洗
(浸蝕、濺射)離解自由基
離子
中性分子

在這一過程中等離子體能有效地使材料表面層中產生大量自由基,這種作用在高分子表面特別明顯。在半導體領域,反應性等離子體的研究很早就十分活躍。如,CF4O2混合的等離子體清洗。我們可以通過控制CF4的流量來控制反應的進度。
以輝光放電氫等離子體為例:
H2+hv+e
H2+e*→H2*+e
2H·+e
H2+2e
H2+e
H·+H++2e·
同樣對于氧氣、水、和有機物也有如下反應:

O2 →2O·
H2O→OH·+H·
CH4→CH3·+H·
R1R2→R1·+R2·
  等離子清洗技術的大特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料如:聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等原基材料都能很好地處理,并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。清洗的重要作用之一是提高膜的附著力,如在Si襯底上沉積Au膜,經Ar等離子體處理掉表面的碳氫化合物和其它污染,明顯改善了Au的附著力。等離子體處理后的基體表面,會留下一層含氟化物的灰色物質,可用溶液去掉。同時有利于改善表面沾著性和潤濕性。在清洗過程中經等離子體表面活化形成的自由基,能夠進一步加成特定官能團,這種特定官能團的引入,特別是含氧官能團,對改善材料的沾著性和濕潤性能起著明顯的作用。實驗表明:不僅引入氧的等離子體,而且,ArN等的等離子體同樣能導入含氧的官能團。如:-OH-OOH等,典型的是當高分子材料與氧等離子體接觸時在剛生成的自由基位置羥基化或羧基化。其反應為:
R·+O·→RO·
R·+O2→ROO·
  針對不同的等離子體,可能都會有一定種類的副產物出現,如四氟化碳與氧的等離子體在和聚合物發生反應裂解成水蒸汽、二氧化碳、和少量氫氟酸,這些氫氟酸是反應的副產品,有毒,但可用堿式濕法洗滌器去除。
:等離子清洗設備工作原理簡圖
電源
氣源

抽真空
等離子工藝常規的化學清洗具有若干優勢,等離子由于使用電能催化化學反應而不是熱能,因此提供了一個低溫環境。等離子排除了由于濕式化學清洗帶來的危險,并且與其它清洗方式相比的大優勢在于清洗后無廢液。總之,等離子工藝是一種簡單到幾乎不需管理的清洗工藝。

免責聲明

  • 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
企業未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
主站蜘蛛池模板: 中文字幕婷婷|日韩| 亚洲五月天中文Av| 久精品视在线中文字幕| 欧美变态另类一区二区三区| 国产精品点击进入在线影院高清| 国产精品欧美日韩在线| 色婷婷香蕉在线一区二区| 精品无码综合一区二区三区| 美女赤裸露私密部位图片| 精品久久久久久久91| 偷自拍亚洲视频在线观看| 国内精品久久久久久久久久久| 欧美国产日韩综合无码| 精品一二三区久久AAA片| 99久久精品一二三区| 国产精品久久久久久小小| 久久久久久久久久77777| 91成人app| 国产精品爽爽久久久久久蜜臀| 国产精品无码AV天天爽色欲| 国产午夜精品一区二区| 久久久乱码精品亚洲日韩| 精品人妻无码一区二区三区三级| 欧洲亚洲精品A片久久99动漫| 色综合久久久久久久| 国产日韩v精品一区二区| 妺妺洗澡时忍不住c了她| 久久99热只有精品6| 在线韩漫画大全免费观看| 日本三级韩国三级国产一级| 久久国产精品亚洲精品| 99精品日韩欧美在线观看| 韩国理伦片一区二区三区在线播放| 后入到高潮免费观看| 欧美日韩国产精品| 日本无码色哟哟婷婷最新网站| 日韩AV片无码一区二区三区不卡| 久久精品99国产精品日本| 麻豆精品2021最新| 真实国产乱子伦精品一区二区三区| 欧美亚洲国产日韩综合|