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杭州光尺激光平直度測量儀PSD信息

來源:篤摯儀器(上海)有限公司   2025年07月25日 11:26  

PSD(位置敏感探測器)概述

PSD 是一種基于光電效應的光學傳感器,核心功能是實時測量光點在探測面上的連續位置坐標(如 X、Y 軸坐標),廣泛應用于位移檢測、角度測量、光學對準等領域。

PSD 的結構組成

根據描述,其基本結構包括:

P 襯底:作為探測器的基底,提供結構支撐和電學連接基礎。

PIN 光電二極管:核心感光元件,當光照射時,光子能量激發電子 - 空穴對,形成光電流,實現光信號到電信號的轉換。

表面電阻:通常為均勻分布的電阻層(如 N 型半導體薄層),光電流會沿電阻層向兩端電極流動,其電流分配與光點位置直接相關,通過測量電極電流即可計算光點坐標。

PSD 與 CCD 的核心差異及優勢

CCD(Charge-Coupled Device,電荷耦合器件)是另一種常見的光學探測器,二者的核心區別體現在原理和性能上,PSD 的優勢包括:

位置分辨率高:

PSD 通過電阻層的電流分布直接計算位置,理論分辨率可達納米級;而 CCD 依賴像素陣列,分辨率受限于像素尺寸和數量。

光譜響應寬:

可響應從紫外到紅外的較寬光譜范圍,適用場景更廣泛;CCD 的光譜響應通常受限于感光材料(如硅基 CCD 在紅外波段響應較弱)。

響應速度快:

光電流的產生和傳輸幾乎無延遲,響應時間可達微秒甚至納秒級;CCD 需要電荷轉移和讀出過程,響應速度較慢。

位置信號與光斑形狀無關:

只要光斑能量集中在探測面上,即使形狀不規則(如彌散、畸變),也能準確輸出位置信息;而 CCD 的位置測量依賴光斑在像素上的能量分布,易受形狀影響。

PSD 的典型應用

由于上述特性,PSD 常用于對實時性、精度要求高的場景:

精密位移 / 振動監測(如機床校準、結構變形測量)

光學系統對準(如激光準直、望遠鏡調焦)

機器人視覺導航(如通過光斑定位實現路徑跟蹤)

生物醫學檢測(如微小物體運動軌跡記錄)

PSD 的局限性在于無法直接獲取光斑的灰度或圖像信息(僅輸出位置坐標),因此需根據具體需求與 CCD 等探測器配合使用。


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