半導體設備國產化突圍戰：百億美元市場的“破壁者”

——從零部件到整機，國產半導體設備的崛起之路

一、半導體設備：芯片制造的“基石”，國產化率不足20%

半導體設備是芯片制造的“母機”，直接決定芯片性能與產能。2022年全球半導體設備市場規模達1076億美元，中國大陸以283億美元成為頭部市場，但國產化率僅約15%-20%。

核心設備國產化率分布

光刻機：<1%

量測設備：<5%

離子注入設備：<10%

薄膜沉積設備：<20%

刻蝕設備：>30%

清洗設備：>30%

二、零部件：半導體設備的“卡脖子”環節

半導體設備中90%成本來自零部件，但頭部零部件國產化率普遍低于10%：

真空閥門

日本SMC、瑞士VAT壟斷，國產化率<1%

射頻電源

美國MKS、AE壟斷全球87%份額

靜電吸盤

日本京瓷、美國AMAT壟斷，國產化率<1%

國產突破：

江豐電子

靶材國產化率超50%，打入臺積電5nm供應鏈

英杰電氣

射頻電源獲中微公司認證，2023年訂單超9000萬元

新萊應材

高純氣體管路系統進入長江存儲供應鏈

三、薄膜沉積設備：CVD/PVD國產化加速

薄膜沉積設備占晶圓廠設備投資的25%，2022年全球市場規模172億美元：

技術路線

PECVD（等離子體增強）：占比34%

ALD（原子層沉積）：先進制程核心

國產進展拓荊科技

PECVD設備打入中芯國際14nm產線，2022年營收17億元

北方華創

PVD設備在長江存儲份額超20%

中微公司

MOCVD設備全球市占率超60%

四、量檢測設備：芯片良率的“守護者”

量檢測設備占設備投資的11%，2022年全球市場規模104億美元：

明/暗場檢測

明場檢測：用于圖形晶圓，精度要求高

暗場檢測：用于無圖形晶圓，速度快

國產突破中科飛測

無圖形檢測設備國內市占率超70%

上海精測

明場檢測設備獲長江存儲訂單

睿勵儀器

膜厚量測設備進入中芯國際產線

五、CMP設備：晶圓平坦化的“精密磨床”

CMP設備占設備投資的4%，2022年全球市場規模18億美元：

技術壁壘

納米級平整度控制（相當于天安門廣場起伏<0.03mm）

國產突破華海清科

12英寸CMP設備市占率25%，2022年營收16億元

爍科中科信

8英寸CMP設備進入華虹供應鏈

六、離子注入機：芯片摻雜的“精準注射器”

離子注入機占設備投資的3%，2022年全球市場規模18億美元：

技術分類

中低束流：占比60%

高能離子：占比18%

國產突破萬業企業（凱世通）

低能大束流設備獲長鑫存儲訂單

中科信

中束流設備進入中芯國際產線

七、國產設備廠商：從“0到1”的突圍者

1. 平臺型龍頭

北方華創

覆蓋刻蝕、PVD、CVD等7大類設備，2022年半導體設備收入130億元

中微公司

CCP刻蝕設備打入臺積電5nm產線

2. 細分賽道

拓荊科技

PECVD設備國內市占率32%

華海清科

CMP設備國內市占率25%

盛美上海

清洗設備國內市占率23%

八、未來展望：國產化的三大突破口

成熟制程

55-28nm產線國產設備覆蓋率已達50%

先進封裝

華為“芯片堆疊”推動封裝設備需求

零部件配套

射頻電源、真空閥門等加速替代

“半導體設備的國產化不是選擇題，而是生存題。”

——中微公司董事長尹志堯