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飛秒激光器的技術原理

來源:上海昊量光電設備有限公司   2025年07月17日 14:56  
  飛秒激光器的技術原理基于超短脈沖激光的生成與精準控制,其核心在于通過鎖模技術產生飛秒級超短脈沖,并結合光傳輸、光爆破及非線性光學效應實現高精度加工。以下是其技術原理的詳細解析:
 
  一、超短脈沖的產生:鎖模技術
 
  飛秒激光器的核心是產生飛秒(10
 
  −15
 
  秒)量級的超短激光脈沖。這一目標的實現依賴于鎖模技術,其原理如下:
 
  主動鎖模:在激光腔內插入調制器,通過精確控制調制頻率(等于縱模間隔),使不同振蕩縱模具有確定的相位關系,從而相干疊加形成超短脈沖序列。
 
  被動鎖模:利用可飽和吸收體的非線性特性,在激光諧振腔中調節損耗。當滿足鎖模條件時,可飽和吸收體對高強度光脈沖吸收較少,而對低強度光吸收較多,從而篩選出超短脈沖。
 
  通過鎖模技術,激光束中的多個縱模被同步,形成高峰值功率、超短脈寬的激光脈沖,為后續高精度加工奠定基礎。
 
  二、脈沖放大與能量提升:CPA原理
 
  飛秒激光脈沖的峰值功率極高,直接放大可能導致光學元件損傷。為解決這一問題,采用啁啾脈沖放大(CPA)技術:
 
  脈沖展寬:在時域上將飛秒脈沖展寬至皮秒甚至納秒量級,降低峰值功率,避免損傷放大介質。
 
  能量放大:將展寬后的脈沖通過放大器(如鈦寶石晶體),提取更多能量。
 
  脈沖壓縮:放大后,通過光柵對等器件將脈沖寬度壓縮回飛秒量級,同時保持高能量,實現高峰值功率輸出。
 
  CPA技術使飛秒激光器能夠安全地獲得高單脈沖能量,為精密加工提供充足能量支持。
 
  三、光傳輸與聚焦:精準控制加工位置
 
  飛秒激光器通過高精度光學系統實現脈沖的傳輸與聚焦:
 
  光傳輸系統:利用反射鏡、透鏡等光學元件,將激光脈沖引導至加工目標表面。
 
  聚焦技術:通過物鏡或特殊聚焦鏡頭,將激光脈沖聚焦至微米甚至納米級光斑,實現高精度加工。
 
  在眼科手術中,醫生通過電腦控制壓平錐鏡,確保激光頭與角膜組織間保持恒定距離,實現激光脈沖的精準定向傳輸。這種精準控制是飛秒激光器在微納制造、生物醫學等領域廣泛應用的關鍵。
 
  四、光爆破效應:微米級組織分離
 
  飛秒激光脈沖與物質相互作用時,產生光爆破效應,實現微米級組織的精確分離:
 
  光爆破產生:當激光脈沖聚焦至角膜組織時,在焦點處產生高強度電場,引發多光子吸收和等離子體形成,導致組織瞬間氣化。
 
  微離子蒸發:每個脈沖的光爆破產生一個微離子,蒸發約1微米的眼角膜組織,同時產生擴展的水泡和CO?氣泡。
 
  組織分離:水泡和氣泡被組織吸收后,導致局部組織分離,形成微小直徑的氣泡層,實現組織的精確切削。
 
  在LASIK手術中,飛秒激光通過光爆破效應制作出厚度均勻、邊緣光滑的角膜瓣,顯著降低手術并發癥風險。
 
  五、非線性光學效應:拓展應用邊界
 
  飛秒激光器的高峰值功率使其能夠激發非線性光學效應,進一步拓展其應用范圍:
 
  多光子吸收:在生物組織中,飛秒激光通過多光子吸收實現精準切割,避免熱損傷。
 
  自相位調制:激光脈沖在傳輸過程中因非線性效應產生頻率調制,可用于超快光譜學研究。
 
  四波混頻:通過非線性相互作用產生新頻率的光,為量子光學實驗提供光源。
 
  這些非線性光學效應使飛秒激光器在生物成像、基因編輯、藥物遞送等領域展現出優勢。
 
  六、技術優勢與應用場景
 
  飛秒激光器的技術原理賦予其以下核心優勢:
 
  高精度:脈沖寬度極短,加工精度達微米甚至納米級。
 
  低損傷:避免熱效應和沖擊波,對周圍組織損傷極小。
 
  高靈活性:通過調整脈沖參數,適應不同材料的加工需求。
 
  飛秒激光器應用場景涵蓋:
 
  眼科手術:制作角膜瓣、矯正近視、遠視、散光。
 
  微納制造:精密打孔、切割、雕刻微電子芯片。
 
  生物醫學:生物成像、基因編輯、藥物遞送。
 
  材料科學:研究超快動力學過程、制備新型材料。

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