原理
光學干涉與斷層掃描:OCT 膜層檢測儀借助光學干涉現象,讓低相干光經樣品反射后與參考光干涉。通過斷層掃描技術,精準捕捉不同膜層的光傳播信息,重建三維結構,從而實現對膜層厚度、缺陷等的高精度分析。
組件協同工作:光源系統提供寬帶近紅外光,干涉儀完成光的分配與干涉處理,掃描系統實現樣品方位掃描,探測器負責信號采集,數據處理系統則將原始信號轉化為直觀的斷層圖像。
特點
非接觸式與無損檢測:不會對易損膜層材料造成破壞,既能保護樣品,又能保證檢測的重復性與準確性。
實時檢測:可融入生產線,及時發現生產中的問題,有助于提高生產效率和產品質量。
自動化操作:減少人工誤差,降低運營成本,同時提高檢測的一致性和可靠性。
高分辨率:能夠達到微米級的成像精度,可清晰地顯示膜層的微觀結構和缺陷,遠超超聲波檢測。
深度分辨:可逐層分析多層結構,如涂層、薄膜等,提供豐富的內部結構信息。
適應性強:適用于透明、半透明及部分不透明材料,具有較廣泛的應用范圍。
應用領域
工業領域
電子元件檢測:可檢測電子元件的涂層質量,如電路板上的三防漆涂層,能夠快速發現氣泡、分層等缺陷,確保電路板的可靠性。
顯示屏幕檢測:用于檢測手機 3D 屏、柔性 OLED 等顯示屏幕的薄膜缺陷,對薄膜的厚度、均勻性等進行精確測量,保障屏幕的顯示質量。
半導體晶圓檢測:可以檢測半導體晶圓的細微損傷、劃痕、凹坑等表面缺陷,以及內部的裂紋、氣泡等缺陷,有助于提高半導體器件的良品率。
鋰電池檢測:能對鋰電池極片涂層的均勻性進行分析,還可測量各種封裝膜、貼合膠帶的厚度,以及監測電池行業激光焊接熔深,保障鋰電池的質量和安全性。
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