在光伏產業向高效化、智能化轉型的關鍵期，INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領域的技術**者，正以多元化產品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產突破到真空環境精密控制，從薄膜沉積技術到全流程協同優化，我們將通過系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產品與技術在太陽能制造中的深度應用。

系列第三篇

本文是繼 INFICON 薄膜沉積控制技術，真空測量方案后的第三篇文章，揭秘氦氣泄漏檢測實踐在太陽能領域的深度應用。

太陽能電池技術飛速發展，晶體硅電池效率持續突破，鈣鈦礦電池加速崛起。CVD/ALD/PVD等關鍵設備極大優化了電池性能，但設備泄漏問題成為重大挑戰。以PECVD設備為例，泄漏會導致反應腔內氣體成分和壓力失控。在HJT（異質結）電池制造中，這將造成非晶硅鈍化層生長不均，使電池的開路電壓和填充因子下降，光電轉換效率可降低不少。

面對如此嚴峻的泄漏挑戰，INFICON推出由UL系列檢漏儀(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能噴槍和I-BOOST加速系統組成的氦氣檢漏方案，為設備真空系統提供保障。

UL系列檢漏儀：給光伏設備做 “全身 CT” 的精密儀器

INFICON的UL系列（UL1000/3000/6000）檢漏儀堪稱檢漏界的 “精密大師”，檢測精度可達 10?12mbar?l/s，能夠精準捕捉到極其細微的泄漏。無論是高真空環境，還是中低真空區域，它都能從容應對，為不同工藝環節的設備提供可靠的檢測數據。

SMART-Spray智能噴槍：靈活的“漏點偵察兵”

SMART-Spray摒棄了傳統的軟管連接，采用無線設計，配備可充注微型氦氣瓶(HeliCan)，能夠輕松深入PECVD/PVD設備縫隙等傳統手段難以觸及的區域，極大地提高了檢測的靈活性和覆蓋范圍，讓漏點無處遁形。

同時，它具備精準定量噴射功能，可根據實際需求精確控制氦氣噴射量，避免因氦氣過量或不足影響檢測結果。其集成的 1.8 英寸彩色顯示屏能實時顯示漏率數據，配合遙控器，操作人員無需靠近危險或高溫區域，就能遠程操控檢測過程，既提高了檢測效率，又保障了人員安全。

I-BOOST：檢漏儀的“超級加速器”

以前給 PECVD 腔體檢漏像等公交車，得熬很長時間才能出結果。現在 I-BOOST 一啟動，就像給檢漏儀裝上了火箭引擎。這個“超級引擎”改變了傳統檢測大容積腔體耗時長的局面。它通過優化算法和硬件，將氦氣響應速度提升數倍，能在極短時間內快速捕捉泄漏信號。

結語

INFICON這套黃金組合不僅是檢漏工具，更是工藝控制與效率突破的技術樞紐：

UL系列實現全量程覆蓋，量化壓力波動數據；

1，SMART-Spray 無線精準定位漏點；

2，I-BOOST 極速響應，使真空檢測從“事后排查”升級為“實時智能調控”。

3，在光伏邁向TWh時代的進程中，它們以**真空精度，支撐TOPCon、HJT、鈣鈦礦等新一代電池技術的產業化高度，澆筑可持續發展的“真空基石”。

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