利用紅外溫度控制優化化學氣相沉積的半導體制造
化學氣相沉積 (CVD) 是一種真空沉積方法，可生產高質量、高性能的固體材料。該工藝廣泛應用于半導體行業，用于在基板上生長硅（二氧化物、碳化物、氮化物、氧氮化物）、碳（纖維、納米纖維、納米管、金剛石、石墨烯）、氟碳化合物、細絲、鎢和氮化鈦等材料。CVD 通常用于沉積保形膜并以傳統表面改性技術無法實現的方式增強基板表面。它在原子層沉積中特別有效，能夠沉積易碎的材料層。

在典型的 CVD 工藝中，晶圓或基板暴露于一種或多種揮發性前體。這些前體在基板表面發生反應和/或分解，從而產生所需的沉積物。該工藝還會產生揮發性副產品，這些副產品可通過流經反應室的氣體去除。

CVD 技術可以在不平坦的表面上產生均勻的薄涂層，使其適用于各種應用。然而，CVD 沉積需要高溫（通常超過 900°C）和真空環境。這些條件對于啟動必要的化學反應和確保沉積材料的高質量和性能至關重要。CVD 能夠在原子級上形成精確、均勻的涂層，這使其成為先進制造和材料科學中一項非常寶貴的技術。

CVD 工藝依靠精確的化學反應將材料沉積到基材上。溫度直接影響這些化學反應的速率和類型。保持最佳溫度可確保所需反應高效、一致地發生。沉積材料的性質（例如結晶度、密度和均勻性）高度依賴于工藝溫度。適當的溫度控制可確保沉積層具有預期的物理和化學性質，這對于它們在半導體器件和其他應用中的性能至關重要。

溫度影響材料沉積在基材上的速率。溫度過高會導致沉積速度過快，從而導致薄膜質量差和潛在缺陷。相反，溫度過低會減慢工藝速度，使其效率低下。精確的溫度控制可實現最佳沉積速率，平衡質量和效率。整個基材上均勻的溫度可確保沉積膜的厚度和成分一致。這種均勻性對于需要精確層厚度和材料特性的應用尤其重要。對于工業應用，可重復性是關鍵。保持精確的溫度控制可確保 CVD 工藝能夠可靠地重復，從而在不同批次和生產運行中產生一致的結果。



CVD 和 Optris 紅外測溫儀如何增強合成實驗室培育鉆石的質量
化學氣相沉積 (CVD) 是一種在實驗室中廣泛使用的鉆石生長方法。這些 CVD 鉆石是人造的，但與天然鉆石相同。CVD 機器通過創造氣體中的碳原子以晶體形式沉淀在基質上所需的條件來生產合成鉆石。這種方法在材料科學領域引起了極大關注，因為它允許許多以前過于昂貴的新應用。

在 CVD 鉆石生長過程中，鉆石種子在充滿富碳氣體（通常包括氫氣）的真空室中被顯著加熱。生長的鉆石類型決定了所使用的特定氣體。熱絲、微波功率和電弧放電等能源產生等離子體，分解富碳氣體，引發復雜的化學反應。極熱將氣體變成等離子體，釋放出一層覆蓋在鉆石種子上的碳原子，導致鉆石生長。通過仔細調節引入的氣體、系統壓力、鉆石溫度和等離子體生成方法等加工參數，可以生產各種各樣的鉆石材料。

一家大批量制造商已將 Optris 的多個紅外傳感器集成到其鉆石晶體生長機中，以確保實驗室生長鉆石的 CVD 機中可重復的工藝控制。由于碳的發射率隨溫度而變化，并且該工藝使用的溫度范圍很廣，因此采用紅外測溫的雙色原理來獲得最佳的溫度精度。這種方法在變化的發射率條件下提供寬溫度范圍和高重復性。與基于一個波長的絕對強度測量溫度的單波長高溫計不同，雙色高溫計通過比較從表面發射的兩個不同波長的輻射強度來計算溫度。這種基于比率的測量受發射率變化的影響較小，可確保在不同溫度下獲得更可靠的讀數。

Optris CSvision 系列由于其測量波長短，特別適合測量高溫。雙色高溫計即使在觀察高達 90% 的遮光物時也能進行精確測量。當測量物體僅覆蓋測量點的 5% 時，它也能可靠地進行測量。 CSvision 比率測溫儀、電動調焦、十字線激光和視頻瞄準功能可實現 250 °C 至 3000 °C 范圍內的非接觸式溫度測量。其可切換的兩級亮度降低濾光片可輕松查看和聚焦非常明亮的物體以及 CVD 工藝的等離子體。

適用于 CVD 工藝且交貨時間短的經濟型紅外溫度測量解決方案
在此應用中，Optris 測溫儀已被證明是一種高度可靠且經濟高效的 CVD 工藝溫度測量解決方案。視頻瞄準和亮度降低技術還使客戶能夠更精確地記錄鉆石的生長情況。
Optris 測溫儀以競爭產品一半的價格提供準確一致的溫度數據，在不影響傳感器性能的情況下提供了經濟實惠的選擇。此外，紅外傳感器的交貨時間顯著縮短，可以加快實施和開發迭代。

Optris 對客戶滿意度的承諾不僅限于提供高質量的產品。積極主動的方法表明了對客戶服務和技術支持的奉獻精神。Optris 的合格工程師多次與客戶一起訪問和測試了該應用，確保測溫儀配置最佳并達到最高標準。這種實際支持對于解決任何挑戰和確保將測溫儀成功集成到客戶的 CVD 工藝中至關重要。

此外，Optris 的持續技術支持可確保及時解決問題，使客戶能夠依靠他們的專業知識進行持續的工藝優化。這種全面的方法不僅能保證立即取得成功，而且還能促進長期的合作伙伴關系。