卓立漢光全新推出自動聚焦拉曼光譜系統。該系統通過智能化實時調焦技術，顯著提升樣品檢測的可靠性和效率，有效解決樣品表面不平整等導致的聚焦困難、信號采集不穩定等問題，具備高穩定、高分辨率、高速掃描等性能優勢，可實現三維化學組分的信息檢測，其適用于材料科學、生物醫藥、半導體等領域的微區化學成分分析。

引言

拉曼光譜作為分子 “指紋” 識別技術，在微區化學成分分析中不*或缺，但傳統拉曼圖像掃描模式面臨多重挑戰：樣品厚度不均導致局部離焦、動態環境下聚焦漂移、粗糙表面信號采集穩定性差等，嚴重限制了對復雜結構樣品（如半導體晶圓、生物組織、藥物制劑）的精準表征。

未解決這一難題，卓立漢光推出自動聚焦拉曼光譜系統，通過智能化聚焦控制與優化光路設計，實現對樣品表面形貌的動態追蹤與實時校正，無需手動干預即可完成復雜樣品的高效、高保真檢測，為科研與工業領域提供了全新的拉曼化學成像解決方案。

性能優勢

系統以 “實時聚焦 + 精準檢測” 為核心設計理念，通過多模塊協同實現復雜樣品的高效表征：

• 三維成像能力：搭配激光共焦光路設計，采集樣品表面化學組分信息，通過三維數據構造表面成分圖像。

• 高頻實時響應：優化光路與快速聚焦算法，響應速度塊，可實百Hz高頻響應，實現真正意義上的焦平面實時追蹤；

• 亞微米級靈敏度：集成高靈敏度光學傳感器與模擬電路快速反饋模塊，壓電陶瓷驅動物鏡動態追蹤樣品表面，可實現亞微米尺度焦深變化識別，超越拉曼光譜分辨極限

• 強抗干擾能力：抗環境振動干擾設計，適合長時間連續掃描，具備高穩定性。

• 低損傷檢測：激光連續可調功率，有效避免樣品光損傷，適合生物活細胞、有機材料等敏感體系

• 高空間分辨率：搭配高數值孔徑物鏡與優化的光路設計，空間分辨率低至0.5um，清晰解析微區化學分布差異。

• 可拓展性強：可升級相關配置，同步輸出表面形貌圖

典型應用場景

材料科學：半導體晶圓缺陷分析、電池極片成分分布、薄膜材料層間界面表征、高分子聚合物相分離研究等。

生物醫藥：組織切片微區成分成像、活細胞代謝物動態監測、蛋白質構象變化分析等。

制藥領域：藥片活性成分分布均勻性檢測、緩釋制劑包膜成分分析、中藥微丸多組分識別等。

考古與文博：陶瓷釉料分層成分鑒定、壁畫顏料微區分析、文物表面腐蝕產物表征等。

環境監測：微塑料顆粒成分與形貌關聯分析、大氣顆粒物化學組成溯源等。

測試案例

WSe晶圓表面成分成像

采用 532nm 激光器對WSe 晶圓（檢測范圍 5.5×5cm）進行分析，對同一片晶圓進行非自動聚焦采集時，可以清晰看到樣品的離焦情況，拉曼光譜信號“山脊狀”分布，無法反映真實成分分布。使用自動共聚焦技術檢測時，可使樣品表面始終處于精準對焦狀態，拉曼信號強度呈現均勻分布。此外，且捕捉到少量因局部成核、薄膜增厚導致的強信號點，為晶圓生長缺陷分析提供關鍵依據。

圖 WSe晶圓樣品，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

先進陶瓷材料

先進陶瓷（又稱高性能陶瓷或工程陶瓷）是一類具有優異力學、熱學、電學或化學性能的無機非金屬材料，廣泛應用于高科技和工業領域。采用532nm激光器檢測先進陶瓷材料，檢測范圍50x50um，其形貌高度變化約為40um。采用非自動聚集技術對陶瓷表面進行拉曼成像時，僅部分樣品區域能保持清晰對焦，可以清晰看到樣品的離焦情況。下圖（使用自動共聚焦技術），可使樣品表面始終處于精準對焦狀態。

圖 先進陶瓷材料，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

結論

卓立漢光自動聚焦拉曼光譜系統憑借智能化實時調焦技術與優化光路設計，有效克服了傳統拉曼光譜在復雜樣品檢測中的離焦、信號不穩定等難題，實現了物質化學成像分析，為材料科學、生物醫藥、制藥、考古以及環境監測等諸多領域的微區成分精準分析提供了切實可行的優質解決方案。