高效過濾器泄漏檢測的主要目的是檢查過濾器及其安裝部位的密封性，及時發現并修補泄漏點，確保潔凈室的潔凈度。泄漏的過濾器會影響整個潔凈室的潔凈程度，因此檢測是確保潔凈室性能的關鍵步驟。

不同的濾料和不同的濾速最輕易穿透微粒的粒徑是不同的，MPPS檢測方法就是采用最易穿透粒徑來檢測效率的方法。常見的粒子計數器檢測法，光度計檢測方法（也稱DOP法，或PAO法）都是MPPS方法。

兩者的區別在于，光度計能夠記錄所有粒徑范圍內的粒子質量濃度，而粒子計數器測試高效過濾器上游的高濃度氣體，需要外接稀釋器進行氣溶膠稀釋，使操作變的復雜且耗時，如不接稀釋器直接測試高效過濾器上游粒子數，很容易造成粒子計數器的污染甚至損壞。

使用粒子計數器測量過濾器前后粒子的數量，計算過濾效率。這種方法需要的設備靈敏度非常高，且此方法適用于檢測微小泄漏，計算耗時長且成本較高，所以普遍被行業認可的光度計法不僅檢測方便且能被眾多客戶所接受。

一、氣溶膠光度計檢測法

采用DOP（PAO）發生器在過濾器上游發塵，使用光度計檢測過濾器上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否有泄漏。發塵的目的是因高效過濾器上游塵粒濃度較低，僅用氣溶膠光度計在不發塵的情況下檢測，較難發現有泄漏，需補充發塵才能明顯、容易地發現泄漏。

人工氣溶膠DOP已有近40年歷史，一段時間以來，因被懷疑對人有致癌作用，現常以DOS、DEHS及PAO等代替，但實驗方法仍稱“DOP（PAO）法”。

ISO14644-3(2019)氣溶膠光度計法

過濾器上游氣溶膠濃度：過濾器上游氣溶膠的濃度應在1mg/m3～100mg/m3之間。并非所有光度計都能使用1mg/m3作為上游氣溶膠濃度挑戰。

• 各過濾器上游氣溶膠濃度測量值不應超過平均測量值的15%。低于平均濃度，可能會降低輕微泄露的敏感性。高于平均濃度，可能會增加輕微泄露的敏感性。

掃描探頭尺寸：推薦使用1cm×8cm的矩形探頭，或直徑為3.6cm的圓形探頭。

掃描速度：探頭橫向掃描速率約為5cm/s。

完整性測試接受標準

掃描過程中，出現任何大于或等于指定泄漏限值的測量結果，都應把掃描探頭保持在泄漏位置。泄漏位置應通過保持氣溶膠光度計最大讀數的探頭位置來確定。

• 超出過濾器上游氣溶膠濃度0.01%的泄漏被視為超過最大允許泄露限值；所以，可接受標準常表達為：≤0.01%。

• 對于過濾效率(MPPS)在99.95%(H13) ~ 99.995%(H14)的過濾系統，可接受標準為≤0.1%。

• 對于過濾效率(MPPS)低于99.95%的過濾系統，供需雙方協商確定驗收標準。

二、如何讓檢測更加高效

1.測試儀帶著電源“小尾巴”移動困難

• 多個房間移動時需要拔插，找最近的接口，但光度計停電后需要重新進行校零點和上游濃度檢測；

氣溶膠光度計3991匹配鋰電供電，可滿足全天測試需求，氣溶膠發生器3990-01是一款便攜外接氣源即可發塵的設備，該組合設備可解決測試儀帶著電源“小尾巴”，移動困難的需求。

2.安裝效果很好，就是測試不通過

遇到此情況需要了解檢測背景環境是否清潔，安裝過程對靜壓箱是否清潔，尤其是縫隙部位，要進行清潔后再進行檢測。

3.紅外掃描代理人工錄入

測試人員只需通過電腦條形碼生成軟件，將生成得條形碼逐一貼在被測高效過濾器得旁邊，在每次檢測過程中，均可自動掃描條形碼信息，便可自動錄入ID信息 ，大大節省了檢測得時間。