低濃度臭氧發生器是產生低濃度臭氧的裝置。

臭氧是氧的同位素，由三個氧原子組成，具有殺菌、除臭、脫色、氧化等多種功效。其殺菌力在自然元素中僅次于氟，據說約為空氣中氯的1.65倍，約為水中氯的7倍。

另一方面，它是一種具有特殊氣味的有毒氣體，高濃度時會對人體產生不良影響，因此日本產業衛生協會將工作環境標準的允許濃度設定為0.1 ppm（0.2 mg/m3）。

一般工業臭氧發生器不適用于工作環境的殺菌、除臭，因為高濃度的臭氧會對人體產生不良影響。低濃度臭氧發生器可以安全地對工作環境進行殺菌、除臭。 

低濃度臭氧發生器的應用

低濃度臭氧發生器產生的低濃度臭氧對人體無不良影響，用于安全去除工作環境中的霉味、細菌、病毒、有機物等物質。

目前，使用低濃度發生器的設備有多種尺寸，包括最大覆蓋 30 榻榻米（約 50 平方米）的廣域型、最大覆蓋 10 榻榻米（約 15 平方米）的個人空間型以及用于治療個人周圍區域的便攜式類型。

低濃度臭氧發生器的使用示例如下：

• 廣域型：醫療機構、護理設施的候診室、走廊、一般企業的樓層、學校、補習班的教室等。

• 個人空間類型：私人衛生間、門廳、醫院和療養院的私人房間、餐廳等。

• 便攜式：乘坐飛機、新干線、火車、汽車時使用；在接待室、貴賓室進行采訪、商務會議時使用；外出就餐時使用等。

低濃度臭氧發生器原理

低濃度臭氧發生器的臭氧生成方法主要為電暈放電法，電暈放電法屬于放電法的一種。電暈放電是指將針狀電極置于空氣中，施加高電壓，使針尖周圍產生空氣放電。因在變暗的電極周圍可以看到電暈 狀的光而得名。

針頭周圍充滿含氧氣體，電暈放電產生的電子將氧氣轉化為臭氧。放電釋放到氣體中的電子與氧分子碰撞，氧分子解離為氧原子（O2 + e → 2O + e），再經過三次碰撞（O＋O2 + M → O3 +  M）形成臭氧。

電暈放電式臭氧發生效率低，且難以產生高濃度的臭氧。因此，在擔心對人體和環境的不良影響，但仍希望利用臭氧的殺菌效果的情況下，通常將其用作低濃度臭氧發生器。