SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉(美國(guó)NIST)旨在用作校準(zhǔn)通過(guò)粉末衍射測(cè)定的衍射線位置和線形的標(biāo)準(zhǔn)品。 SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉由超高純度、本征硅晶錠制成,這些晶錠經(jīng)粉碎和噴射研磨至平均粒徑為 4.1 微米。然后將所得粉末在吸氣氬氣下在 1000 °C 下退火 2 小時(shí) [1] 并在氬氣下裝瓶。X 射線粉末衍射數(shù)據(jù)的分析表明,SRM640f 超高純硅粉材料在衍射特性方面是均勻的。
SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉(美國(guó)NIST)認(rèn)證值:22.5 °C 溫度的認(rèn)證晶格參數(shù)為 0.5431144nm ± 0.000008nm 。該值定義的區(qū)間及其擴(kuò)展不確定度 (k = 2) 主要由從技術(shù)理解估計(jì)的 B 類不確定度決定測(cè)量數(shù)據(jù)及其分布。 NIST 認(rèn)證值是 NIST 對(duì)其準(zhǔn)確性有最高置信度的值,因?yàn)樗幸阎蚩梢傻钠顏?lái)源都已被調(diào)查或考慮在內(nèi)。認(rèn)證值和不確定度是根據(jù) ISO/JCGM 指南 [2] 中描述的方法計(jì)算的。被測(cè)量是晶格參數(shù)。計(jì)量溯源性是長(zhǎng)度的 SI 單位,以納米表示。
信息值:對(duì)認(rèn)證數(shù)據(jù)的分析包括對(duì)洛倫茲輪廓的半峰全寬 (FWHM) 進(jìn)行細(xì)化,以解釋樣本引起的展寬。 FWHM 的角度依賴性隨 1/cos θ 變化,被解釋為尺寸引起的展寬。得到的值是一致的平均體積加權(quán)域大小約為 0.4 µm。變化為 tan θ 的術(shù)語(yǔ),解釋為微應(yīng)變,細(xì)化為零。計(jì)算的峰位置的信息值在表 1 中給出。由激光散射確定的典型粒徑分布在圖 1 中給出。信息值被認(rèn)為是 SRM 用戶感興趣的值,但沒(méi)有足夠的信息來(lái)評(píng)估與該值相關(guān)的不確定性。信息值不能用于建立計(jì)量溯源性。
SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉(美國(guó)NIST)在氬氣下裝瓶以防潮。不使用時(shí),將未使用的粉末部分密封保存在原瓶中,或以類似或更好的防潮保護(hù)的方式儲(chǔ)存。
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