一、選型概述
Atomax AM系列二流體噴嘴專為高精度噴涂需求設計,適用于半導體、電子元件、醫療設備、功能性薄膜及滅菌消毒等領域。該系列通過精密霧化技術,可生成超細顆粒(低可達微米級),實現均勻、可控的薄膜沉積。選型時需綜合考慮噴涂精度、流量范圍、液體特性及工藝要求。
二、型號特性與適用場景
1. AM6型(超微量精密噴涂)
核心特點:極小流量設計,霧化顆粒極細,適合納米級薄膜沉積。
適用場景:
半導體晶圓的光刻膠、介電層噴涂
電子元件(如PCB、MEMS)的納米級功能涂層
實驗室級高精度材料沉積
適配要求:
推薦搭配低功率壓縮機(20-750W)
適合低粘度液體(<30cP)
2. AM12型(微量高精度噴涂)
核心特點:在保持超細霧化的同時,提供更穩定的微量液體控制。
適用場景:
電子元件超薄膜層(厚度<1μm)
光學鍍膜、傳感器敏感層噴涂
要求高均勻性的R&D實驗
適配要求:
需配合精密流量控制系統(±0.1μl/min級)
適合中等揮發性液體
3. AM25型(精密噴霧,兼顧效率)
核心特點:平衡霧化精度與流量范圍,適合中等噴涂需求。
適用場景:
醫療設備(如支架、植入物)的功能性涂層
工業級薄膜沉積(如太陽能電池、柔性電路)
科研領域的可控材料噴涂
適配要求:
可處理稍高粘度液體(<50cP)
需中高壓氣源支持
4. AM45型(高精度廣域噴涂)
核心特點:在保持精細霧化(~5μm)的同時,覆蓋更大面積。
適用場景:
無塵室表面滅菌(如過氧化氫霧化)
大面積功能性涂層(如抗菌薄膜)
工業設備防護層噴涂
適配要求:
適合中高流量需求
需驗證與腐蝕性液體的兼容性
三、選型關鍵因素
1. 噴涂精度需求
納米級薄膜:優先AM6或AM12
微米級均勻涂層:AM25或AM45更高效
2. 液體特性
低粘度(<30cP):AM6/AM12最佳
中高粘度(30-50cP):AM25/AM45更合適
腐蝕性/揮發性液體:需確認噴嘴材質兼容性(如PTFE襯里)
3. 工藝參數匹配
極小流量(<5ml/min):選擇AM6/AM12
中等流量(5-20ml/min):AM25更優
大面積噴涂:AM45效率更高
4. 環境與系統要求
潔凈室應用:需選擇低顆粒釋放型號(如AM6)
自動化集成:確認噴嘴的機械接口(如螺紋規格)
氣壓需求:高精度噴涂通常需穩定氣壓(0.2-0.5MPa)
四、選型流程建議
明確需求:
目標涂層厚度、均勻性要求
液體屬性(粘度、揮發性、腐蝕性)
噴涂面積與產能要求
初步篩選:
根據流量和精度鎖定1-2個候選型號
驗證測試:
進行霧化均勻性測試(如基板沉積觀察)
評估長期運行穩定性(≥8小時連續噴涂)
廠商對接:
提供液體參數和工藝細節,獲取定制建議
必要時申請樣品進行實際工況測試
五、維護與優化建議
定期清洗:防止噴嘴堵塞(尤其用于高固含量液體時)
參數校準:長期使用后需重新優化氣壓/流量比
升級選項:高磨損場景可選用耐磨材質噴嘴(如陶瓷噴口)
六、結論
Atomax AM系列可滿足從實驗室級納米薄膜到工業級高精度噴涂的多樣化需求。選型時需以精度和液體兼容性為核心,結合流量與工藝要求選擇優型號。
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