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無損檢測：采用 X 射線熒光技術，在不破壞樣品的前提下完成厚度測量，這對于一些珍貴樣品或不允許破壞的產品檢測尤為重要。例如，在文物保護領域，對于古代金屬器物表面鍍層厚度的測量，費希爾 X 熒光射線測厚儀能夠在不損傷文物的情況下提供準確數據。
測量范圍廣：能夠測量從極薄的鍍層到較厚的材料，元素測量范圍涵蓋從氯（17）到鈾（92），最多可同時測量 24 種元素、23 層鍍層。無論是簡單的單鍍層結構，還是復雜的多層合金鍍層，都能準確測量。
自動化程度高：部分型號如 XDL 240 具備自動化的工作臺移動和測量流程控制功能，減少了人為操作誤差，提高了測量效率和準確性。在工業生產線上，能夠快速、連續地對產品進行厚度檢測，為生產過程的質量控制提供及時反饋。
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