普泰克-高低溫探針臺測試技術參數
來源:普泰克(上海)制冷設備技術有限公司
2025年07月04日 16:39
測試信號范圍:
需兼容直流(DC)、低頻交流(AC)、射頻(RF)等信號,射頻探針臺需標注 工作頻率范圍(如 DC-110GHz),并提供對應的阻抗匹配(通常為 50Ω)。
泄漏電流:
低溫環境下需控制探針臺的漏電流 ≤10?12A,避免干擾微弱信號測試(如半導體器件的反向漏電流)。
接地電阻:
要求 ≤0.1Ω,減少接地噪聲對測試的影響。
顯微鏡放大倍數:
通常為 10-500 倍 連續可調,部分配備 金相顯微鏡或紅外顯微鏡,用于觀察樣品表面和探針接觸狀態。
視場范圍:
與放大倍數對應,低倍時視場大(如 10 倍下視場直徑≥10mm),高倍時用于精細對準(如 500 倍下視場直徑≥0.5mm)。
照明方式:
明場、暗場、熒光照明等,確保在高低溫環境下(可能有冷凝 / 結霜)仍能清晰觀察。
系統穩定性:
振動振幅 ≤0.5μm(在 10-200Hz 頻段),避免外界振動影響探針接觸穩定性。
工作臺承重:
樣品臺最大承重通常為 1-5kg,滿足不同尺寸樣品或夾具的放置需求。
外形尺寸與重量:
常規尺寸約 1000×800×1500mm(長 × 寬 × 高),重量 500-1500kg,需考慮實驗室空間和承重要求。
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