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直接換熱式冷水機在半導體行業的全周期維護策略

來源:無錫冠亞智能裝備有限公司   2025年07月04日 13:20  

在半導體制造的流程中,直接換熱式冷水機作為溫度控制的核心設備,其穩定運行直接關乎芯片生產的精度與良率。從設備啟動前的細致檢查,到運行過程中的實時監測與維護,再到停機后的深度保養,每一個步驟都需嚴格遵循規范,才能確保冷水機始終保持、可靠的運行狀態。

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  設備啟動前的檢查是保障正常運行的基礎。需對制冷系統進行檢查。仔細查看制冷劑管道是否存在泄漏跡象,可通過壓力測試或涂抹肥皂水的方式進行查漏。制冷劑壓力直接影響制冷效果,若壓力異常,無論是過高還是過低,都需要及時排查原因并進行調整。壓力過低可能是制冷劑泄漏,需找到漏點進行修補并補充制冷劑;壓力過高則可能是系統堵塞或散熱不暢,此時要檢查冷凝器、膨脹閥等關鍵部件是否正常工作。

  電氣系統的檢查同樣至關重要。檢查各電氣元件的接線是否牢固,有無松動、老化或破損的情況,避免因接觸不良引發設備故障。檢查接觸器、繼電器等元件的觸點狀態,若觸點出現燒蝕、氧化等問題,需及時進行清理或更換。同時,確保設備的供電電壓穩定在額定范圍內,過高或過低的電壓都會對設備的正常運行產生不利影響。

  當直接換熱式冷水機投入運行后,實時監測與維護工作便展開。溫度是關鍵的監測參數之一。半導體生產對溫度精度要求高,需密切關注蒸發器出口水溫、冷凝器進口水溫以及被冷卻設備的關鍵部位溫度,確保這些溫度值在工藝要求的小波動范圍內。

  壓力參數的監測也不容忽視。壓縮機的吸氣壓力、排氣壓力,以及冷凝器和蒸發器的壓力變化,能夠直觀反映制冷系統的運行狀態。若壓縮機排氣壓力過高,可能是冷凝器散熱不良,此時要檢查冷凝器的風扇運轉是否正常、散熱翅片是否積塵堵塞。對于直接換熱式冷水機,還需檢查換熱部件與被冷卻設備的接觸是否良好,有無間隙或移位影響散熱。若吸氣壓力過低,則可能是膨脹閥開度不足、系統內有堵塞,或制冷劑充注量不足,需進一步排查故障點并進行修復。

  運行過程中,設備的噪音和振動情況也是重要的監測指標。直接換熱式冷水機正常運行時,應保持平穩且噪音較小。若出現異常的噪音或振動,可能是壓縮機內部零件磨損、水泵葉輪不平衡,或者設備基礎不牢固等原因導致。一旦發現此類情況,需立即停機檢查,避免故障進一步擴大。同時,定期記錄設備的運行數據,包括溫度、壓力、電流、電壓等,建立詳細的運行檔案。通過對這些數據的分析對比,能夠及時發現設備性能的變化趨勢,提前采取維護措施,預防故障發生。

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  除了運行中的實時監測,定期的維護工作。定期清理冷凝器和蒸發器的表面,去除灰塵、污垢和雜質,尤其是冷凝器的散熱翅片,積塵會嚴重影響散熱效果,降低制冷效率。可使用專用的清潔劑和工具進行清理,在清理過程中要注意避免損傷翅片。

  當直接換熱式冷水機停機后,更要抓住時機進行深度保養。對整個設備進行清潔工作,包括外殼、內部管路和零部件等。使用合適的清潔劑去除設備表面的油污、灰塵和其他污漬,保持設備外觀整潔。同時,對水箱進行清洗,清除水中的雜質、微生物和水垢,防止這些物質影響水質和換熱效果。清洗水箱時,可加入適量的除垢劑,浸泡后沖洗干凈。

  定期檢查和更換易損件是停機保養的內容。壓縮機的潤滑油在長期使用后會變質、性能下降,需按照設備廠家規定的周期更換潤滑油和油過濾器,確保壓縮機得到良好的潤滑和保護。對于換熱部件的密封件,長期使用后可能出現老化、磨損,導致泄漏,要及時檢查更換。

  對冷水機的控制系統進行維護和校準也是停機保養的關鍵環節。定期檢查溫度傳感器、壓力傳感器的準確性,可通過與標準儀表進行對比校準,確保傳感器數據的可靠性,為設備的控制提供保障。同時,檢查控制程序和參數設置是否正確,根據實際運行情況進行優化調整,使冷水機始終處于良好運行狀態。

  直接換熱式冷水機只有嚴格按照規范流程,做好啟動前檢查、運行中監測與維護以及停機后的深度保養,才能確保冷水機持續穩定運行,為半導體生產提供可靠的溫度控制保障,助力行業不斷追求更高精度、更高品質的芯片制造工藝。


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