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電感耦合等離子體質譜儀主要用于常規定量痕量元素濃度，價態分析；單顆粒模塊能測定納米材料的粒徑、團聚情況和數量濃度；單細胞模塊可以研究單個細胞層面元素的攝入、排出情況。該設備可測定元素周期表中大部分元素，且具有較低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快等性能優勢。
電感耦合等離子體質譜儀通過電感耦合等離子體(ICP)將樣品解離為離子，再利用質譜儀(MS)分離并檢測離子，從而確定元素種類和含量。具體流程如下：
1、樣品解離：樣品被引入高溫等離子體炬管，基體被離子化形成一價正離子及其他微粒。
2、離子純化：通過雙錐接口和離子透鏡系統，分離干擾離子，提高信噪比，傳輸效率達80%以上。
3、質譜分離：離子根據質荷比(m/z)在電場和磁場中沿不同路徑運動，四極桿質量分析器或飛行時間質量分析器實現精準分離。
4、信號檢測：電子倍增器或法拉第杯記錄離子個數，動態范圍達10?，可同時測定ppt級至百分含量級元素。
電感耦合等離子體質譜儀要求能適用于應用領域廣泛的各種樣品的元素分析、同位素分析分析任務，滿足環境、食品、醫藥、地質、金屬材料、生物樣品、化工材料等行業的分析要求。
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