晶圓烘箱的結構組成與用途

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責任公司 2025年07月03日 09:35

晶圓烘箱是半導體制造中用于晶圓熱處理的關鍵設備，其核心功能是通過準確控溫實現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理，直接影響半導體器件的良品率與性能。

　　結構組成與功能模塊：

　　1、加熱系統(tǒng)：采用不銹鋼無塵加熱器，通過PID智能演算實現(xiàn)自動恒溫，溫度波動度控制在±0.5℃以內。

　　2、氣體控制系統(tǒng)：支持氮氣氣氛控制，氧含量可低至<20ppm，適用于對氧化敏感的工藝步驟。采用密封內循環(huán)風路設計，減少氮氣消耗，風道采用倒U型結構，確保送風均勻性。

　　3、傳輸與潔凈系統(tǒng)：工作室內百級潔凈度，配備耐高溫高效過濾器，過濾率達0.3μm粒子99.995%以上。隔板高度可調，適應不同尺寸晶圓的加工需求。

　　應用場景：

　　1、光刻膠固化：在基片清洗后的前烘烤(Pre-baking)、涂膠后的軟烘焙(Soft-baking)及曝光顯影后的堅膜硬烘(Hard-baking)中，通過精確控溫避免光刻膠層頂部“結殼”，確保溶劑均勻揮發(fā)。

　　2、防氧化處理：適用于硅片、砷化鎵、鈮酸鋰等材料的潔凈烘烤，通過惰性氣氛控制降低氧濃度，避免材料表面氧化。

　　3、精密元件干燥：擴展應用于LCD、TFT、COMS、生物醫(yī)藥、光學鍍膜等領域的精密元件干燥，溫度均勻度±1.5%。

相關產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
本網(wǎng)轉載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。

成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄中国色片,一级黄色蝶片,一级黄色片生活片