等離子體組件
半導(dǎo)體技術(shù)改變了我們對世界的認(rèn)知，而等離子體加工則讓為大眾生產(chǎn)產(chǎn)品成為可能。高密度微波輔助等離子體源在刻蝕和沉積系統(tǒng)中表現(xiàn) ，這些系統(tǒng)需要高刻蝕速率，同時避免材料帶電或受損。

作為等離子體組件制造商，我們的 地位可幫助您開發(fā)和適配系統(tǒng)，同時確保快速進(jìn)入市場并降低運營成本。作為 “交鑰匙” 產(chǎn)品系列的一部分，我們?yōu)楦鞣N不同的生產(chǎn)工具和應(yīng)用提供等離子體組件，包括：

氧化物和氮化物層的高密度沉積
SU-8 間隔層處理
有機(jī)材料的高選擇性去除
用于清潔氧敏感材料的非氧化化學(xué)工藝
敏感表面（如傳感器）和 3D 結(jié)構(gòu)的無損清潔
各向同性腔體清潔
LIGA 工藝（光刻、電鍍和成型）工業(yè)加熱用磁控管
無論系統(tǒng)設(shè)計如何，磁控管在為工業(yè)加熱生成電磁能量方面都發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

微波加熱用磁控管有 915 MHz 和 2450 MHz 兩種版本。我們提供的 915 MHz 版本（也稱為 L 波段）輸出功率為 5 kW 至 100 kW；2450 MHz 版本（也稱為 S 波段）的產(chǎn)品范圍覆蓋 800 W 至 15 kW。

MUEGGE 為工業(yè)售后市場提供標(biāo)準(zhǔn)原始設(shè)備制造商（OEM）磁控管和改裝磁控管。我們?yōu)楝F(xiàn)有設(shè)備提供的廣泛產(chǎn)品系列可支持您的產(chǎn)品開發(fā)，包括內(nèi)部制造和實驗室測試。

對標(biāo)準(zhǔn) OEM 磁控管進(jìn)行的典型改裝包括：

冷卻方式轉(zhuǎn)換：空冷轉(zhuǎn)水冷
改裝及定制冷卻塊和水連接
螺旋電纜的長度和連接類型
磁控管主體的機(jī)械改動
改裝輸出功率