真空計(jì)概述

常見的真空計(jì)類型

1. 皮拉尼真空計(jì)（Pirani Gauge）
• 工作原理：利用熱絲的熱傳導(dǎo)變化來測(cè)量氣體壓力。當(dāng)氣體壓力降低時(shí)，熱絲的散熱效果變差，電阻變化，通過測(cè)量電阻變化來確定壓力。
• 測(cè)量范圍：通常適用于10?3 Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，適用于粗真空測(cè)量。
• 缺點(diǎn)：在高真空下精度較低，需要校準(zhǔn)。
2. 熱電偶真空計(jì)（Thermocouple Gauge）
• 工作原理：與皮拉尼真空計(jì)類似，但使用熱電偶來測(cè)量溫度變化。
• 測(cè)量范圍：通常適用于10?2 Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。
• 缺點(diǎn)：精度較低，需要校準(zhǔn)。
3. 冷陰極電離真空計(jì)（Cold Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用高電壓產(chǎn)生的電離效應(yīng)來測(cè)量氣體壓力。當(dāng)氣體分子被電離時(shí)，產(chǎn)生的離子電流與氣體壓力成正比。
• 測(cè)量范圍：通常適用于10?1 Torr到10?? Torr的范圍。
• 優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量范圍寬，精度高。
• 缺點(diǎn)：需要高電壓，成本較高。
4. 熱陰極電離真空計(jì)（Hot Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用熱陰極發(fā)射的電子與氣體分子相互作用產(chǎn)生的離子電流來測(cè)量氣體壓力。
• 測(cè)量范圍：通常適用于10?? Torr到10?1? Torr的范圍。
• 優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量精度高，適用于高真空環(huán)境。
• 缺點(diǎn)：需要加熱元件，成本較高。
5. 電容式真空計(jì)（Capacitance Manometer）
• 工作原理：利用電容變化來測(cè)量氣體壓力。當(dāng)氣體壓力變化時(shí)，電極之間的電容也會(huì)變化。
• 測(cè)量范圍：通常適用于10?? Torr到大氣壓的范圍。
• 優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量精度高，線性好。
• 缺點(diǎn)：成本較高，需要定期校準(zhǔn)。

可能與之相似的設(shè)備和品牌

1. Pfeiffer Vacuum（德國(guó)）
• 產(chǎn)品特點(diǎn)：Pfeiffer Vacuum是全的球的知的名的真空設(shè)備制造商，提供多種類型的真空計(jì)，包括皮拉尼真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
2. Edwards（英國(guó)）
• 產(chǎn)品特點(diǎn)：Edwards提供多種高性能的真空計(jì)，包括皮拉尼真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)、航空航天等領(lǐng)域。
3. Varian（美國(guó)）
• 產(chǎn)品特點(diǎn)：Varian（現(xiàn)為Agilent Technologies的一部分）提供多種高精度的真空計(jì)，包括電容式真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)等。
• 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。

Canon公司背景

使用方法

• 安裝：將真空計(jì)安裝在需要測(cè)量的真空系統(tǒng)中，確保連接牢固，密封良好。
• 校準(zhǔn)：在使用前，需要對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
• 測(cè)量：打開真空系統(tǒng)，啟動(dòng)真空計(jì)，根據(jù)儀器的指示進(jìn)行測(cè)量。
• 數(shù)據(jù)記錄：記錄測(cè)量數(shù)據(jù)，進(jìn)行分析和處理。

維護(hù)和注意事項(xiàng)

• 定期校準(zhǔn)：為了確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，建議定期對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)。
• 清潔和維護(hù)：定期清潔真空計(jì)的傳感器和連接部件，避免灰塵和雜質(zhì)影響測(cè)量結(jié)果。
• 避免過載：避免在超出測(cè)量范圍的條件下使用真空計(jì)，以免損壞儀器。
• 存儲(chǔ)條件：在不使用時(shí)，應(yīng)將真空計(jì)存放在干燥、清潔的環(huán)境中，避免受潮和腐蝕。