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日本樫山工業（Kashiyama Industrial Co., Ltd.）創立于1949年，總部位于日本愛知縣春日井市，擁有70多年的歷史，是一家以專業研發、制造真空泵及相關設備而有名的工業技術企業，產品廣泛應用于半導體、化工、食品、醫藥等領域。以下是對其主要產品真空泵的工作原理及相關技術參數的專業介紹：
機械真空泵工作原理
機械真空泵主要由泵體、轉子、旋片等關鍵部件構成。當電機驅動轉子旋轉時，旋片在離心力作用下緊貼泵腔內壁，形成多個小腔室。這些腔室在旋轉過程中不斷變化體積，實現氣體的吸入、壓縮，并最終通過排氣口排出，從而在泵的吸入端形成真空環境
水環真空泵工作原理
水環真空泵由圓形殼體和偏心安裝的葉輪組成。葉輪旋轉時，水在離心力作用下形成與殼體同心的水膜，葉輪與水膜及相鄰葉片形成密封空間。隨著葉輪旋轉，該空間體積變化，完成吸氣、壓縮和排氣過程，實現真空環境
干式真空泵工作原理
干式真空泵無需油或水等介質潤滑和密封。以干式螺桿泵為例，兩個螺桿轉子反向旋轉，氣體被吸入并隨著螺桿的螺旋運動被壓縮，最終排出泵體，從而實現真空
技術參數
| 系列名稱 | 電機功率(kW) | 極限壓力(Pa) | 排氣速度(m3/h) | 冷卻方式 | 重量(kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| SDE-X | 1.3 | 0.12-1.0 | 200-500 | 風冷 | 約150-200 |
| LEM | 0.2-11 | 2.3×103-7.3×103 | 17-300 | 水冷 | 15-300 |
| LEH | 0.75-7.5 | 2.3×103-7.3×103 | 22-150 | 水冷 | 19-250 |
| SDE-TX | 具體值未提及 | 0.5 | 30000 | 具體方式未提及 | 440 |
| NeoDry15G | 具體值未提及 | 1.0 | 250 | 具體方式未提及 | 約120-150 |
樫山工業的真空泵產品憑借其性能和可靠性，廣泛應用于半導體制造、化學處理、食品包裝、醫藥生產等領域，為各行業的工藝流程提供了關鍵的真空環境支持，推動了相關技術的發展和進步。在半導體行業，其產品可用于PVD、CVD、刻蝕等工藝，滿足高潔凈度要求。在化工領域，適用于各種化學反應的真空環境需求。在食品包裝方面，能有效實現食品的真空包裝，延長保質期。在醫藥生產中，可用于藥品的干燥、提取等工藝過程。
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