手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
全自動掃描電鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)是一種融合了電子光學技術與自動化控制系統的微觀分析設備。它通過電子束掃描樣品表面，以高放大倍數和高精度觀察樣品的形貌、成分和結構，為材料科學、生物學、地質學等領域的研究提供了強有力的支持。
全自動掃描電鏡基本原理與結構組成：
1.電子槍：全自動掃描電鏡的電子槍是產生電子束的源頭，常見的有鎢絲槍、場發射槍(FEG)等類型。場發射槍具有更高的亮度和更小的電子源尺寸，能夠提供更高分辨率的圖像，但成本也相對較高；鎢絲槍則具有成本較低、維護相對簡單等優點，適用于一些對分辨率要求不高的常規檢測場景。
2.電磁透鏡：用于聚焦電子束，使其在樣品表面形成微小的光斑，實現高分辨率成像。通過準確控制電磁透鏡的電流，可以調節電子束的焦距和束斑大小，從而適應不同放大倍數和樣品特性的觀察需求。
3.掃描系統：由掃描線圈和相關的驅動電路組成，能夠使電子束在樣品表面按照預定的軌跡進行掃描，通常采用光柵掃描方式，即電子束在水平和垂直方向上依次偏轉，對樣品進行逐點掃描，以獲取完整的圖像信息。
4.探測器：主要包括二次電子探測器和背散射電子探測器等。二次電子探測器用于收集樣品表面激發出的二次電子，這些二次電子對樣品表面的形貌變化非常敏感，能夠提供高分辨率的形貌圖像；背散射電子探測器則收集背散射電子，由于背散射電子的能量和產額與樣品的原子序數密切相關，因此可以用來分析樣品的成分和晶體取向等信息。
5.自動化控制系統：這是全自動掃描電鏡的核心部分，它能夠實現對電子槍、電磁透鏡、掃描系統、探測器等各個部件的準確控制和協調工作。通過預設的程序和參數，自動化控制系統可以自動完成樣品的加載、定位、聚焦、成像以及數據采集和處理等一系列操作，大大提高了檢測效率和準確性，并減少了人為因素對檢測結果的影響。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心