在半導體制造過程中,靜電是一個需要嚴格控制的因素,因為即使是微小的靜電放電也可能損壞敏感的電子元件或導致塵埃粒子吸附在晶圓表面,從而影響產品的成品率和可靠性。
在整個半導體制造過程中都會產生靜電荷,主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產率和良率,靜電荷會靜電吸引(ESA)空氣中的顆粒,從而導致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產品在半導體領域的應用主要集中在靜電控制和除靜電設備方面,以減少生產中的靜電和微粒對半導體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設備、離子棒和離子風機等設備通過電暈放電產生正負離子,中和空氣和工作表面的靜電荷,從而減少靜電吸附和放電對半導體制造過程的影響。
靜電測試儀
FMX-004 靜電測試儀
FMX-004靜電測試儀是一款緊湊型靜靜電測試儀,用于定位和測量靜電荷,其袖珍尺寸和三鍵操作使其使用方便快捷。
特點:
輕巧、緊湊的設計
測距燈確保測量準確且可重復
自動量程切換可達 ±30 kV (30,000V),距離為 1"
帶有 +/- 指示器的數字和條形圖顯示
不活動時自動關機
FMX-004還提供用于模擬輸出的可選電纜和支架套件,此功能允許在使用過程中可提取和監控數據。模擬輸出支架可安裝現場儀表,以便連續采集讀數。模擬信號可與 PLC、數據采集卡、數據記錄器、圖表讀取器等設備配合使用。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。