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天恒科儀 | 晶圓測試系統(tǒng):高性能測試系統(tǒng)解析

來源:天恒科儀(蘇州)光電有限技術(shù)公司   2025年06月05日 16:22  

面對日益復(fù)雜的芯片設(shè)計和嚴(yán)苛的測試需求,一套集高精度寬溫域多功能于一體的晶圓測試是非常必不可失的。天恒科儀晶圓集成系統(tǒng),為科研與工業(yè)檢測提供了一站式解決方案。

晶圓測試系統(tǒng) logo版.png

天恒科儀-晶圓測試系統(tǒng)


核心優(yōu)勢與設(shè)計亮點

極限環(huán)境模擬能力:

支持-80°C至+200°C溫度測試,覆蓋芯片全工況驗證需求。


超高精度定位與測量:

運動平臺精度達(dá)1微米(μm),IV儀表電流分辨率高達(dá)0.1fA(飛安),CV儀表電容分辨率達(dá)0.1fF(飛法),確保微小電性參數(shù)精準(zhǔn)捕捉。


高效集成測試平臺:

集探針臺、溫控卡盤、IV/CV儀表及智能軟件于一體,支持直流、脈沖、高壓、大電流、高頻等多參數(shù)測試。


智能化操作與分析:

配備全自動溫控軟件與多功能測試軟件,支持一鍵操作、實時曲線繪制及大數(shù)據(jù)分析,顯著提升測試效率。


技術(shù)解析

精密運動平臺:

無隙平滑驅(qū)動:X/Y軸平面無間隙光刻度,移動速率可調(diào),快速行程8"×8"。

微動控制:微動行程精度1μm,支持0~10mm精細(xì)調(diào)整。

顯微鏡聯(lián)動:集成高分辨率顯微系統(tǒng)(光學(xué)分辨率5.5μm),搭配2000萬像素工業(yè)相機(jī),實現(xiàn)焊盤精準(zhǔn)定位與尺寸測量。

高低溫卡盤系統(tǒng):

寬溫域控制:-80°C至+200°C范圍,分辨率0.1°C,穩(wěn)定性±0.1°C。

全自動溫控:軟件一鍵控制,實時監(jiān)控溫度曲線與數(shù)據(jù)流。

高兼容接口:背面電極引流通孔,支持Banana、BNC、TRAX、SMA、HYTRAX等主流測試接口。

IV/CV精密測量儀表:

IV儀表:寬動態(tài)范圍(200mV~200V, 1μA~1A),四象限工作,支持?jǐn)?shù)字I/O與遠(yuǎn)程控制(RS-232)。

CV儀表:寬頻測量(DC,4Hz~8MHz),高精度(Z:±0.05% rdg, Q:±0.03°),支持200V DC偏壓。

智能測試軟件:

多功能界面:可配置掃描參數(shù)(步長、延遲、循環(huán)次數(shù)等)、量程(手動/自動)、濾波及積分時間(0.001s~25s)。

實時曲線繪制:支持I/V、P/I、C/V、C/T等十余種特性曲線實時顯示。


晶圓測試系統(tǒng)詳細(xì)參數(shù)

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詳細(xì)參數(shù)

微信圖片_20250605110608.png

選型指南


應(yīng)用領(lǐng)域

微信圖片_20250605143621.png

邏輯/模擬芯片測試:

精準(zhǔn)驗證晶體管特性(I/V曲線)、功耗(P/I)及高溫穩(wěn)定性。


存儲器驗證:

完成DRAM單元(Cell)電性能篩查,支持Wafer Burn-in(老化測試)與Repair(修復(fù))流程。

功率器件分析: 高壓(200V)、大電流(1A)測試能力,滿足MOSFET/IGBT動態(tài)特性評估。


射頻器件表征

CV儀表支持8MHz高頻測量,適用于RF電容、電感參數(shù)提取。


工藝監(jiān)控與失效分析:

通過晶圓級測試(Wafer Level Verification)反饋工藝缺陷,定位封裝前不良品。


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